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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0055917 (2013-05-16) | |
공개번호 | 10-2014-0135519 (2014-11-26) | |
등록번호 | 10-1915202-0000 (2018-10-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130055917 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-09-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 그래핀 합성 방법에 관련된 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 합성 방법은, 촉매 금속 박을 마련하는 단계와, 상기 촉매 금속 박의 표면에 방청 물질을 도포하는 단계와, 상기 방청 물질이 도포된 상기 촉매 금속 박을 CVD 챔버에 삽입하는 단계와, 상기 CVD 챔버 내에 진공을 형성하는 단계와, 상기 CVD 챔버의 내부를 가열하여 상기 방청 물질을 기화 또는 연소시켜 제거하는 단계와, 상기 CVD 챔버 내에 원료 가스를 주입하고 상기 촉매 금속 박의 표면에서 그래핀을 합성하는 단계를 포함한다.
촉매 금속 박을 마련하는 단계;상기 촉매 금속 박의 표면에 방청 물질을 도포하는 단계;상기 방청 물질이 도포된 상기 촉매 금속 박을 CVD 챔버에 삽입하는 단계;상기 CVD 챔버 내에 진공을 형성하는 단계;상기 CVD 챔버의 내부를 가열하여 상기 방청 물질을 기화 또는 연소시켜 제거하는 단계;상기 방청 물질을 제거한 후, 상기 CVD 챔버 내에 원료 가스를 주입하고 상기 촉매 금속 박의 표면에서 그래핀을 합성하는 단계를 포함하는 그래핀 합성 방법.
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