초록

본 발명은, 육불화황(SF6)과 수소(H2)가 유입되도록 형성되는 챔버와, 상기 챔버에 전자빔을 조사하여 상기 육불화황과 상기 수소를 황(S)과 불화수소(HF)로 분해하도록 형성되는 전자빔 조사장치, 및 상기 챔버로부터 유출되는 상기 황과 상기 불화수소를 회수하도록 구성되는 회수부를 포함하는 육불화황 처리 시스템을 제공한다.

대표청구항

육불화황(SF6)과 수소(H2)가 유입되도록 형성되는 챔버;상기 챔버에 전자빔을 조사하여, 상기 육불화황과 상기 수소를 황(S)과 불화수소(HF)로 분해하도록 형성되는 전자빔 조사장치; 및상기 챔버로부터 유출되는 상기 황과 상기 불화수소를 회수하도록 구성되는 회수부를 포함하고,상기 황과 상기 불화수소 이외의 부산물이 생성되지 않도록, 상기 육불화황과 상기 수소 이외에 다른 화합물은 상기 챔버로 유입되지 않도록 구성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템.

육불화황(SF6)과 수소(H2)가 유입되도록 형성되는 챔버;상기 챔버에 전자빔을 조사하여, 상기 육불화황과 상기 수소를 황(S)과 불화수소(HF)로 분해하도록 형성되는 전자빔 조사장치; 및상기 챔버로부터 유출되는 상기 황과 상기 불화수소를 회수하도록 구성되는 회수부를 포함하고,상기 황과 상기 불화수소 이외의 부산물이 생성되지 않도록, 상기 육불화황과 상기 수소 이외에 다른 화합물은 상기 챔버로 유입되지 않도록 구성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템.