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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0068150 (2013-06-14) | |
공개번호 | 10-2014-0146248 (2014-12-26) | |
등록번호 | 10-1498594-0000 (2015-02-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130068150 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-06-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 가연성 가스 감지를 위한 접촉 연소식 가스센서 및 가스센서 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 구조가 간단하며, 낮은 소비전력으로도 저농도의 가스를 효율적으로 감지할 수 있는 가스센서 및 이를 제조하는 방안에 관한 것이다.이를 위해 본 발명의 접촉 연소식 가스센서는 가연성 가스가 접촉하며, 공급된 전류에 의해 발열하는 감지소자, 상기 감지소자의 양 측면에 형성되며, 상기 감지소자로 전류를 공급하는 전극, 상기 감지소자와 전극의 하단에 형성된 멤브레인 및 상기 멤브레인의 하단에 형성되며, 일부가 식각된 실리콘 기판을
공급되는 전류에 의해 발열하며 발열 상태에서 가스 접촉시 연소가 일어나도록 유도되는 감지소자와;상기 감지소자의 양 측면에 형성되며, 상기 감지소자로 전류를 공급하는 전극과;상기 감지소자와 전극의 하단에 형성된 멤브레인; 및상기 멤브레인의 하단에 형성되며, 일부가 식각된 실리콘 기판;을 포함함을 특징으로 하는 접촉 연소식 가스센서.
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