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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0072414 (2013-06-24) | |
공개번호 | 10-2015-0000544 (2015-01-05) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130072414 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
정전기 측정 장치 및 정전기 측정 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 측정 장치는 복수개의 정전기 센서를 포함하는 측정부, 측정부에 의해 측정된 정전기 정보를 처리하여 상기 기판 상의 정전기 분포 상태를 산출하는 정보 처리부, 정보 처리부에 의해 산출된 상기 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 표시부를 포함하되, 상기 기판 상에 상기 복수개의 정전기 센서에 대응되는 복수개의 센싱 영역이 정의되고, 상기 센싱 영역을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역이 정의되되, 상기 각 정전기 센서는 상기 각 정전기 센서에 대응되는
기판 상의 정전기를 측정하는 정전기 측정 장치로서, 복수개의 정전기 센서를 포함하는 측정부;상기 측정부에 의해 측정된 정전기 정보를 처리하여 상기 기판 상의 정전기 분포 상태를 산출하는 정보 처리부; 및상기 정보 처리부에 의해 산출된 상기 정전기 분포 상태를 디스플레이하는 표시부를 포함하되,상기 기판 상에 상기 복수개의 정전기 센서에 대응되는 복수개의 센싱 영역이 정의되고, 상기 센싱 영역을 제외한 나머지 영역인 비 센싱 영역이 정의되되, 상기 각 정전기 센서는 상기 각 정전기 센서에 대응되는 상기 각 센싱 영역의 정전기 정보를 측
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