초록

본 발명은 클린룸(clean room) 내의 습도를 조절하기 위한 클린룸의 습도조절장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 공급된 정제수의 일부가 그대로 버려짐으로써 고가의 정제수가 낭비되는 문제가 있었던 종래의 클린룸의 습도조절장치들의 문제점을 해결하여, 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있으며, 그것에 의해, 클린룸의 운영비용 및 클린룸 내에서 제조되는 제품의 생산비용을 절감할 수 있는 클린룸의 습도조절장치가 제공된다.

대표청구항 ▼

정제수의 공급파이프로부터 정제수를 분사하도록 구성됨으로 인해 정제수가 낭비되는 종래의 클린룸의 습도조절장치의 문제점을 해결하기 위해, 사용되지 못하고 버려지는 정제수가 없도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치에 있어서, 정제수가 저장되어 있는 한 쌍의 저장탱크; 및 각각의 상기 저장탱크 사이를 연결하도록 한 쌍의 상기 저장탱크 사이에 배치되는 복수의 필터부재를 포함하여 구성되고, 모세관현상 및 상기 필터부재의 흡수력에 의한 확산현상에 의해 상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동됨으로써, 상기 정제수가 흡수된

정제수의 공급파이프로부터 정제수를 분사하도록 구성됨으로 인해 정제수가 낭비되는 종래의 클린룸의 습도조절장치의 문제점을 해결하기 위해, 사용되지 못하고 버려지는 정제수가 없도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치에 있어서, 정제수가 저장되어 있는 한 쌍의 저장탱크; 및 각각의 상기 저장탱크 사이를 연결하도록 한 쌍의 상기 저장탱크 사이에 배치되는 복수의 필터부재를 포함하여 구성되고, 모세관현상 및 상기 필터부재의 흡수력에 의한 확산현상에 의해 상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동됨으로써, 상기 정제수가 흡수된 상기 필터부재에 의해 상기 필터부재를 통과하여 상기 클린룸 내부로 공급되는 공기의 습도 조절 및 정화 기능이 이루어지며, 상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동되는 것에 의해, 상기 저장탱크로부터 직접 상기 필터부재에 상기 정제수가 공급됨으로써 사용되지 못하고 버려지는 정제수의 발생이 방지되어 상기 정제수의 낭비가 방지될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.