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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0084487 (2013-07-18) | |
등록번호 | 10-1412963-0000 (2014-06-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130084487 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-07-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 클린룸(clean room) 내의 습도를 조절하기 위한 클린룸의 습도조절장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 공급된 정제수의 일부가 그대로 버려짐으로써 고가의 정제수가 낭비되는 문제가 있었던 종래의 클린룸의 습도조절장치들의 문제점을 해결하여, 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있으며, 그것에 의해, 클린룸의 운영비용 및 클린룸 내에서 제조되는 제품의 생산비용을 절감할 수 있는 클린룸의 습도조절장치가 제공된다.
정제수의 공급파이프로부터 정제수를 분사하도록 구성됨으로 인해 정제수가 낭비되는 종래의 클린룸의 습도조절장치의 문제점을 해결하기 위해, 사용되지 못하고 버려지는 정제수가 없도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치에 있어서, 정제수가 저장되어 있는 한 쌍의 저장탱크; 및 각각의 상기 저장탱크 사이를 연결하도록 한 쌍의 상기 저장탱크 사이에 배치되는 복수의 필터부재를 포함하여 구성되고, 모세관현상 및 상기 필터부재의 흡수력에 의한 확산현상에 의해 상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동됨으로써, 상기 정제수가 흡수된
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