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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0120794 (2013-10-10) | |
공개번호 | 10-2015-0042058 (2015-04-20) | |
등록번호 | 10-2257126-0000 (2021-05-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130120794 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-10-04) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 증착장치에서 기판에 증착되는 막의 두께를 모니터링하기 위하여 설치되는 센서를 운영하는 방법에 관한 것으로, 본 발명의 센서 운영방법은 제1 센서로 기판에 증착되는 증착률을 조절하는 제1 단계와, 제2 센서의 셔터를 개방하여 기판에 증착되는 증착률을 측정하는 제2 단계와, 상기 제2 센서가 측정한 증착률과 제1 센서의 증착률을 비교하여 제1 센서의 증착률을 보정하는 제3 단계와, 상기 제1 센서와 제2 센서의 수명환산값이 일정 값에 도달하기까지 센서를 사용한 후 센서를 변환하는 제4 단계와, 상기 제1 센서를 일정 수량 사
제1 센서로 기판에 증착되는 증착률을 조절하는 제1 단계:제2 센서의 셔터를 개방하여 기판에 증착되는 증착률을 측정하는 제2 단계;상기 제2 센서가 측정한 증착률과 제1 센서의 증착률을 비교하여 제1 센서의 증착률을 보정하는 제3 단계;상기 제1 센서와 제2 센서의 수명환산값이 일정 값에 도달하기까지 센서를 사용한 후 센서를 교체하는 제4 단계; 및상기 제1 센서를 구성하는 복수의 센서를 모두 사용 후 상기 제1 센서와 제2 센서의 역할을 변경하는 제5 단계;를 포함하여 진행되는 증착장치에서의 막 두께 측정센서 운영방법.
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