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연합인증

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그래핀 시트의 제조 방법, 그래핀 적층체, 변형 수용성 그래핀 시트의 제조 방법, 변형 수용성 그래핀 시트, 및 이를 이용하는 소자 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-016/32
  • C23C-016/513
  • H01L-029/06
  • C01B-031/02
출원번호 10-2013-0145303 (2013-11-27)
공개번호 10-2014-0003354 (2014-01-09)
우선권정보 대한민국(KR) 1020090064220 (2009-07-14)
DOI http://doi.org/10.8080/1020130145303
발명자 / 주소
  • 홍병희 / 서울특별시 강남구 봉은사로**길 **, ***호 (삼성동)
  • 김근수 / 서울특별시 광진구 천호대로***길 ***, B*호 (능동)
출원인 / 주소
  • 그래핀스퀘어 주식회사 / 서울특별시 강남구 봉은사로**길 ** ,***(삼성동)
대리인 / 주소
  • 특허법인엠에이피에스
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

본원은 화학기상증착법을 이용하여 그래핀 성장용 금속 촉매 박막을 포함하는 그래핀 성장 지지체 상에서 그래핀을 성장시키는 것을 포함하는 그래핀 시트의 제조 방법, 이에 대한 그래핀 시트 및 그래핀 적층체, 변형 수용성 그래핀 시트 제조 방법, 변형 수용성 그래핀 시트, 및 이를 이용하는 소자에 관한 것이다.

대표청구항

그래핀 성장용 금속 촉매 박막을 포함하는 그래핀 성장 지지체에 탄소 소스 를 포함하는 반응 가스 및 열을 제공하여 반응시킴으로써 상기 지지체 상에서 그래핀을 성장시키는 것을 포함하는, 그래핀 시트의 제조 방법.

발명자의 다른 특허 :

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