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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2013-7009311 (2013-04-12) |
공개번호 | 10-2013-0111554 (2013-10-10) |
우선권정보 | 유럽특허청(EPO)(EP) 10177188.9 (2010-09-16);유럽특허청(EPO)(EP) 10177206.9 (2010-09-16);유럽특허청(EPO)(EP) 10177216.8 (2010-09-16);유럽특허청(EPO)(EP) 11165500.7 (2011-05-10);미국(US) 61/383,204 (2010-09-15);미국(US) 61/383,533 (2010-09-16) |
국제출원번호 | PCT/EP2011/065833 (2011-09-13) |
국제공개번호 | WO 2012/035000 (2012-03-22) |
번역문제출일자 | 2013-04-12 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020137009311 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
F2 및/또는 OF2와, 선택적으로 HF를 포함한 가스를, 1종의 염과 1종의 용해된 상태의 티오황산염 또는 알칼리 금속 아질산염, 바람직하게는 각각의 나트륨 화합물이 포함된 액체와 접촉시키는, 가스로부터의 F2 및/또는 OF2제거 방법을 기술한다. 바람직한 염기는 알칼리 금속 수산화물 및 알칼리 금속 탄산염, 특히 각각의 칼륨 화합물이다. 상기 방법은 F2가 적용되거나 형성되는 공업 공정으로부터의 가스, 예컨대, 반도체, 태양 전지 또는 TFT의 제조과정으로부터 생성되는 가스를 처리하는데 매우 적합하다. 상기 방법은, 예를 들어,
F2 및/또는 OF2와 선택적으로 HF를 포함한 가스로부터 F2 및/또는 OF2를 제거시키는 적어도 한 단계를 포함하여, F2 및/또는 OF2의 함량이 감소되고, 처리대상 가스 내에 존재하는 경우 HF의 함량이 감소된 가스의 수득 방법이며, 상기 방법에서는 상기 가스를, 용해된 상태의 알칼리 금속 티오황산염 및/또는 용해된 상태의 알칼리 금속 아질산염, 그리고 알칼리 금속 수산화물 및 알칼리 금속 탄산염으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 용해된 상태의 염기가 포함된 액체 조성물과 접촉시키는 것인 방법.
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