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연합인증

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가스로부터 F2 및/또는 OF2를 제거시키는 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • B01D-053/68
  • B01D-053/78
  • H01L-021/00
출원번호 10-2013-7009311 (2013-04-12)
공개번호 10-2013-0111554 (2013-10-10)
우선권정보 유럽특허청(EPO)(EP) 10177188.9 (2010-09-16);유럽특허청(EPO)(EP) 10177206.9 (2010-09-16);유럽특허청(EPO)(EP) 10177216.8 (2010-09-16);유럽특허청(EPO)(EP) 11165500.7 (2011-05-10);미국(US) 61/383,204 (2010-09-15);미국(US) 61/383,533 (2010-09-16)
국제출원번호 PCT/EP2011/065833 (2011-09-13)
국제공개번호 WO 2012/035000 (2012-03-22)
번역문제출일자 2013-04-12
DOI http://doi.org/10.8080/1020137009311
발명자 / 주소
  • 아이허, 요아네스 / 독일 ***** 젠데 라츠빈켈 *
  • 파이스, 프란시스 / 독일 ***** 하노버 프로인달리 *
  • 모렐, 필리페 / 벨기에 베-**** 알젬베르흐 ** 잉언다엘란
  • 디아나, 올리비에로 / 벨기에 베-**** 필보르데 *** 메이우벤란
  • 프레디칸트, 페터 엠. / 독일 ***** 하노버 * 암 클라이넨 타이히
  • 윈페렌, 에르칸 / 독일 ***** 하노버 클리스트라쎄 *
  • 페르니체, 홀거 / 독일 ***** 슈바네베데 하일쇼르너 스트라쎄 **베
  • 슈바르체, 토마스 / 독일 ***** 알텐 플라네텐스트라쎄 **
  • 칼브레이어, 볼프강 / 독일 ***** 슈테예베르크 벨리 **
  • 라우, 헬게 / 독일 ***** 부르크도르프 라이히바인스트라쎄 **
출원인 / 주소
  • 솔베이(소시에떼아노님) / 벨기에왕국 비-**** 브룩셀스 뤼 드 랑스비크 ***
대리인 / 주소
  • 김영; 양영준
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록 ▼

F2 및/또는 OF2와, 선택적으로 HF를 포함한 가스를, 1종의 염과 1종의 용해된 상태의 티오황산염 또는 알칼리 금속 아질산염, 바람직하게는 각각의 나트륨 화합물이 포함된 액체와 접촉시키는, 가스로부터의 F2 및/또는 OF2제거 방법을 기술한다. 바람직한 염기는 알칼리 금속 수산화물 및 알칼리 금속 탄산염, 특히 각각의 칼륨 화합물이다. 상기 방법은 F2가 적용되거나 형성되는 공업 공정으로부터의 가스, 예컨대, 반도체, 태양 전지 또는 TFT의 제조과정으로부터 생성되는 가스를 처리하는데 매우 적합하다. 상기 방법은, 예를 들어,

대표청구항

F2 및/또는 OF2와 선택적으로 HF를 포함한 가스로부터 F2 및/또는 OF2를 제거시키는 적어도 한 단계를 포함하여, F2 및/또는 OF2의 함량이 감소되고, 처리대상 가스 내에 존재하는 경우 HF의 함량이 감소된 가스의 수득 방법이며, 상기 방법에서는 상기 가스를, 용해된 상태의 알칼리 금속 티오황산염 및/또는 용해된 상태의 알칼리 금속 아질산염, 그리고 알칼리 금속 수산화물 및 알칼리 금속 탄산염으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 용해된 상태의 염기가 포함된 액체 조성물과 접촉시키는 것인 방법.

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