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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2014-0006834 (2014-01-20) | |
| 공개번호 | 10-2015-0086781 (2015-07-29) | |
| 등록번호 | 10-2227546-0000 (2021-03-08) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020140006834 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2019-01-21) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 대용량 증발원 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 대용량 증발원은 하우징; 상기 하우징의 내부에 설치되고, 내부에 증발물질이 수용되며, 전후방으로 길게 형성되는 하부 도가니; 상기 하부 도가니의 상부에 결합되고, 상단에 상기 증발물질이 분사되는 분사노즐이 형성되는 상부 도가니; 및 상기 상부 도가니의 내부에 설치되고, 상기 증발물질 중 중앙부로 집중되어 증발되는 증발물질이 전후방으로 이동되도록 가이드하는 가이드 플레이트를 포함할 수 있다.
하우징;상기 하우징의 내부에 설치되고, 내부에 증발물질이 수용되며, 전후방으로 길게 형성되는 하부 도가니;상기 하부 도가니의 상부에 결합되고, 상단에 상기 증발물질이 분사되는 분사노즐이 형성되는 상부 도가니; 및상기 상부 도가니의 내부에 설치되고, 상기 증발물질 중 중앙부로 집중되어 증발되는 증발물질이 전후방으로 이동되도록 가이드하는 가이드 플레이트를 포함하고,상기 가이드 플레이트는 상기 하부 도가니의 상면에 대하여 상방으로 이격되게 배치되며,상기 가이드 플레이트의 전후단 및 양측단은 상기 상부 도가니의 내벽과 이격되는 것을 특징으
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