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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0009237 (2014-01-24) | |
공개번호 | 10-2015-0088675 (2015-08-03) | |
등록번호 | 10-1551860-0000 (2015-09-03) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140009237 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-01-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 금속 코팅 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 금속 코팅 방법은, (a) 대기 중의 기상물질과 반응하여 표면에 반응막이 형성될 수 있는 금속시편(110)을 제공하는 단계; 및 (b) 금속시편(110)의 표면 상에 세라믹 부동태 막(120)을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
반도체 패키징용 금속 와이어 제조방법으로서,(a) 대기중의 기상물질과 반응하여 표면에 반응막이 형성되는, 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 금(Au), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 오스뮴(Os) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 와이어(wire) 형태의 금속시편을 제공하는 단계; 및(b) 상기 와이어 형태의 금속시편의 표면 상에 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition)을 이용하여 세라믹 부동태 막을 1nm 내지 100nm 두께로 형성하는 단계;를 포함하는 것
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