초록 ▼

본 발명은 입자 포집 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 입자 포집 장치는 검사구역 내에서 광과 입자의 충돌에 의한 광소멸량을 통하여 입자의 정보를 측정하는 장치에 설치되는 입자 포집 장치에 있어서, 진공상태로 마련되어 상기 검사구역에 연결되며, 측면의 일영역에 개구부가 형성되고, 상기 광과 충돌된 상기 입자가 이동하는 배출관; 횡단면이 다각형으로 마련되어 각 측면에는 상기 입자가 부착되는 시편이 각각 장착되며, 회전 가능하도록 마련되되 어느 하나의 시편만 노출되어 상기 배출관 내의 입자를 포집하는 입자 포집부;를 포함하는 것을

본 발명은 입자 포집 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 입자 포집 장치는 검사구역 내에서 광과 입자의 충돌에 의한 광소멸량을 통하여 입자의 정보를 측정하는 장치에 설치되는 입자 포집 장치에 있어서, 진공상태로 마련되어 상기 검사구역에 연결되며, 측면의 일영역에 개구부가 형성되고, 상기 광과 충돌된 상기 입자가 이동하는 배출관; 횡단면이 다각형으로 마련되어 각 측면에는 상기 입자가 부착되는 시편이 각각 장착되며, 회전 가능하도록 마련되되 어느 하나의 시편만 노출되어 상기 배출관 내의 입자를 포집하는 입자 포집부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 횡단면이 다각형으로 마련되는 회전부의 측면에 복수 개의 시편이 각각 장착되어 단일의 공정에서 여러 번의 입자 측정이 가능하며, 배출관에는 개구부를 개폐하는 게이트 밸브가 설치되어 배출관 내부의 진공상태를 유지할 수 있는 입자 포집 장치가 제공된다.

대표청구항 ▼

검사구역 내에서 광과 입자의 충돌에 의한 광소멸량을 통하여 입자의 정보를 측정하는 장치에 설치되는 입자 포집 장치에 있어서,진공상태로 마련되어 상기 검사구역에 연결되며, 측면의 일영역에 개구부가 형성되고, 상기 광과 충돌된 상기 입자가 이동하는 배출관; 및횡단면이 다각형으로 마련되어 각 측면에는 상기 입자가 부착되는 시편이 각각 장착되며, 회전 가능하도록 마련되되 어느 하나의 시편만 노출되어 상기 배출관 내의 입자를 포집하는 입자 포집부;를 포함하며,상기 입자 포집부는, 길이방향으로 길게 형성되되 일부가 횡단면이 다각형으로 마련되며

검사구역 내에서 광과 입자의 충돌에 의한 광소멸량을 통하여 입자의 정보를 측정하는 장치에 설치되는 입자 포집 장치에 있어서,진공상태로 마련되어 상기 검사구역에 연결되며, 측면의 일영역에 개구부가 형성되고, 상기 광과 충돌된 상기 입자가 이동하는 배출관; 및횡단면이 다각형으로 마련되어 각 측면에는 상기 입자가 부착되는 시편이 각각 장착되며, 회전 가능하도록 마련되되 어느 하나의 시편만 노출되어 상기 배출관 내의 입자를 포집하는 입자 포집부;를 포함하며,상기 입자 포집부는, 길이방향으로 길게 형성되되 일부가 횡단면이 다각형으로 마련되며, 각 측면에는 상기 시편이 각각 장착되는 회전부; 상기 회전부의 일부가 회전 가능하게 삽입되며, 상기 시편과 대응되는 단일의 관통부가 형성되어 어느 하나의 시편만 노출되도록 하는 커버부; 상기 회전부의 일부가 회전 가능하게 삽입되며 상기 커버부의 단부와 결합되는 폐쇄부;를 포함하는 입자 포집 장치.