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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2014-0054514 (2014-05-08) | |
| 등록번호 | 10-1557637-0000 (2015-09-30) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020140054514 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2014-05-08) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 육불화황과 수소에 전자빔을 조사하여 불화수소 및 황으로 분해하고 생성된 불화수소 및 황을 연속적으로 처리하여 회수할 수 있도록 한 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치에 관한 것이다.특히, 유해성이 큰 불화수소를 처리하는데 있어서, 금속 또는 비금속 이온과 불소를 액상에서 반응시켜 보다 안정된 불소염의 형태로 회수하거나, 불화수소를 응축시켜 액체 상태의 고순도 불화수소로 회수할 수 있는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치이다.
육불화황(SF6) 및 수소(H2)가 유입되는 육불화황분해챔버;상기 육불화황분해챔버에 유입된 육불화황 및 수소에 전자빔을 조사하는 전자빔 조사장치;전자빔 조사에 의하여 불화수소(HF(v)) 및 황(S(s))으로 분해되어 상기 육불화황분해챔버에서 유출되는 불화수소 및 황의 혼합물에서 황을 회수하는 황 회수부;상기 황 회수부에서 유출되는 불화수소를 응축시켜 액체 상태의 불화수소로 회수하는 액체 불화수소 회수부;상기 육불화황분해챔버, 황 회수부 및 액체 불화수소 회수부를 각각 연결하여 불화수소 또는 황을 유통시키는 배관; 및상기 황 회수부
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