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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0057440 (2014-05-13) | |
등록번호 | 10-1424957-0000 (2014-07-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140057440 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-05-13) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
표면에 플렉시블 플렉시블 PI막이 경화된 더미글라스가 밴딩방식을 통해 안정적으로 플렉시블 PI막로부터 박리되도록 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치에 관한 것으로, 베이스(B); 플렉시블 원장기판이 안착되는 이동스테이지; 플렉시블 원장기판을 초기박리 시키는 커터; 수직겐트리와, 수직겐트리에 승강 가능하게 결합된 승강판으로 구성된 승강수단; 이동스테이지에 안착된 플렉시블 원장기판의 더미글라스 양단을 척킹한 상태로 상승하면서 더미글라스를 플렉시블 PI막로부터 박리시키는 한 쌍의 척킹유닛; 및 더미글라스 표면과 접촉된
베이스(B);상기 베이스(B)의 상면에 구비된 수평겐트리(210)에 이동 가능하게 결합되며, 더미글라스(G)에 플렉시블 PI막(P)이 증착된 플렉시블 원장기판(M)이 안착되는 이동스테이지(200);상기 이동스테이지(200)에 안착된 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G)와 상기 플렉시블 PI막(P) 사이를 둘레를 소정깊이로 커팅하여 초기박리 시키는 커터(300);상기 이동스테이지(200)의 상측으로 소정간격 이격되게 설치되며, 상기 베이스(B)에 수직하게 설치된 수직겐트리(410)와, 상기 수직겐트리(410)에 승강 가
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