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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0065326 (2014-05-29) | |
공개번호 | 10-2015-0137447 (2015-12-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140065326 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
법적상태 | 거절 |
공급되는 제막 용액을 분산하여 퍼뜨리는 재료 분산 챔버, 상기 재료 분산 챔버에서 분산된 제막 용액을 토출하는 슬롯을 가지는 토출부를 포함하고, 상기 슬롯은 소정 깊이로부터 토출단에 이르기까지의 영역이 상기 슬롯의 다른 부분에 비하여 폭이 확장되어 이루어진 확장부를 가지는 슬롯 다이.
공급되는 제막 용액을 분산하여 퍼뜨리는 재료 분산 챔버,상기 재료 분산 챔버에서 분산된 제막 용액을 토출하는 슬롯을 가지는 토출부를 포함하고,상기 슬롯은 소정 깊이로부터 토출단에 이르기까지의 영역이 상기 슬롯의 다른 부분에 비하여 폭이 확장되어 이루어진 확장부를 가지는 슬롯 다이.
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