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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0069171 (2014-06-09) | |
공개번호 | 10-2015-0140940 (2015-12-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140069171 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명의 틸트 측정 장치는 이미지 센서의 평면을 따라 이동하며, 이미지 센서의 평면에 대한 제1좌표를 측정하는 제1스캔 유닛; 이미지 센서가 탑재된 기판의 평면을 따라 이동하며, 기판의 평면에 대한 제2좌표를 측정하는 제2스캔 유닛; 및 상기 제1스캔 유닛에 의해 측정된 제1좌표와 상기 제2스캔 유닛에 의해 측정된 제2좌표를 비교하여 기판에 대한 이미지 센서의 기울기를 연산하는 제어 유닛;을 포함한다.
이미지 센서의 평면을 따라 이동하며, 이미지 센서의 평면에 대한 제1좌표를 측정하는 제1스캔 유닛;이미지 센서가 탑재된 기판의 평면을 따라 이동하며, 기판의 평면에 대한 제2좌표를 측정하는 제2스캔 유닛; 및상기 제1스캔 유닛에 의해 측정된 제1좌표와 상기 제2스캔 유닛에 의해 측정된 제2좌표를 비교하여 기판에 대한 이미지 센서의 기울기를 연산하는 제어 유닛;을 포함하는 틸트 측정 장치.
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