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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2014-0108625 (2014-08-20) | |
| 공개번호 | 10-2016-0022719 (2016-03-02) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020140108625 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
| 법적상태 | 거절 |
본 발명은 가열된 공기가 기판을 통과하도록 공기를 순환시켜서 상기 기판을 열처리하는 기판 열처리 장치에 관한 것이다. 기판 열처리 장치는, 유입구로부터 공기가 유입되어 배출구로 배출되는 순환경로가 형성되고, 상기 기판이 인입, 인출되는 셔터를 구비한 챔버부; 상기 챔버부로 유입된 공기를 가열하도록, 상기 순환경로상에 설치된 제1 가열부; 상기 챔버부의 내부에 공기를 순환시키는 순환부; 및 상기 챔버부의 셔터 내측면에 설치되어 챔버부 내의 공기를 가열시키는 제2 가열부; 를 포함한다. 이에 의해, 챔버 상하부와 셔터 부근의 온도를 보
가열된 공기가 기판을 통과하도록 공기를 순환시켜서 상기 기판을 열처리하는 기판 열처리 장치에 있어서,유입구로부터 공기가 유입되어 배출구로 배출되는 순환경로가 형성되고, 상기 기판이 인입, 인출되는 셔터를 구비한 챔버부;상기 챔버부로 유입된 공기를 가열하도록 상기 순환경로상에 설치된 제1 가열부;상기 챔버부의 내부에 공기를 순환시키는 순환부; 및상기 챔버부의 셔터 내측면에 설치되어 챔버부 내의 공기를 가열시키는 제2 가열부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
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