초록 ▼

본 발명은 다종(多種)의 가스 감지가 가능한 가스센서 어레이에 관한 것으로, 일부가 식각된 실리콘 기판 상부에 멤브레인층이 형성되고, 상기 멤브레인층 상부에 복수의 가열 전극 패드와 각 가열 전극 패드로부터 뻗어 있는 가열 전극 패턴들 및 상기 각 가열 전극 패턴을 통해 공급되는 전원에 의해 가열되는 복수의 가열부가 형성되어 있으며, 상기 가열 전극 패턴들 및 복수의 가열부를 감싸는 절연층 상부에 쌍을 이루는 감지 전극 패턴과 상기 감지 전극 패턴 일부를 감싸는 복수의 감지막이 형성되되, 상기 복수의 가열부에 병렬 방식의 전원이 공

본 발명은 다종(多種)의 가스 감지가 가능한 가스센서 어레이에 관한 것으로, 일부가 식각된 실리콘 기판 상부에 멤브레인층이 형성되고, 상기 멤브레인층 상부에 복수의 가열 전극 패드와 각 가열 전극 패드로부터 뻗어 있는 가열 전극 패턴들 및 상기 각 가열 전극 패턴을 통해 공급되는 전원에 의해 가열되는 복수의 가열부가 형성되어 있으며, 상기 가열 전극 패턴들 및 복수의 가열부를 감싸는 절연층 상부에 쌍을 이루는 감지 전극 패턴과 상기 감지 전극 패턴 일부를 감싸는 복수의 감지막이 형성되되, 상기 복수의 가열부에 병렬 방식의 전원이 공급되도록 상기 복수의 가열부 각각은 상기 가열 전극 패턴들과 병렬 연결됨을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

일부가 식각된 실리콘 기판 상부에 멤브레인층이 형성되고, 상기 멤브레인층 상부에 복수의 가열 전극 패드와 각 가열 전극 패드로부터 뻗어 있는 가열 전극 패턴들 및 상기 각 가열 전극 패턴을 통해 공급되는 전원에 의해 가열되는 복수의 가열부가 형성되어 있으며, 상기 가열 전극 패턴들 및 복수의 가열부를 감싸는 절연층 상부에 쌍을 이루는 감지 전극 패턴과 상기 감지 전극 패턴 일부를 감싸는 복수의 감지막이 형성되되,상기 복수의 가열부에 병렬 방식의 전원이 공급되도록 상기 복수의 가열부 각각은 상기 가열 전극 패턴들과 병렬 연결됨을 특징

일부가 식각된 실리콘 기판 상부에 멤브레인층이 형성되고, 상기 멤브레인층 상부에 복수의 가열 전극 패드와 각 가열 전극 패드로부터 뻗어 있는 가열 전극 패턴들 및 상기 각 가열 전극 패턴을 통해 공급되는 전원에 의해 가열되는 복수의 가열부가 형성되어 있으며, 상기 가열 전극 패턴들 및 복수의 가열부를 감싸는 절연층 상부에 쌍을 이루는 감지 전극 패턴과 상기 감지 전극 패턴 일부를 감싸는 복수의 감지막이 형성되되,상기 복수의 가열부에 병렬 방식의 전원이 공급되도록 상기 복수의 가열부 각각은 상기 가열 전극 패턴들과 병렬 연결됨을 특징으로 하는 가스센서 어레이.