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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0129864 (2014-09-29) | |
등록번호 | 10-1533936-0000 (2015-06-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140129864 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-09-29) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 입자 측정장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 입자 측정장치는 진공상태로 마련되는 검사구역; 내부에 유입된 피측정 입자를 집속된 상태로 상기 검사구역 내부로 공급시키는 입자 공급부; 상기 피측정 입자의 이동경로 상에 마련되며, 상기 집속된 피측정 입자의 이동시간을 측정하여 상기 집속된 피측정 입자의 형상을 측정하는 형상 측정부; 상기 검사구역 내부의 상기 집속된 피측정 입자 측으로 상기 집속된 피측정 입자의 이동경로와 교차되도록 검사광을 조사하는 광원부; 상기 검사구역을 통과한 검사광을 이용하여 상기 피측정 입자의 정보
진공상태로 마련되는 검사구역;내부에 유입된 피측정 입자를 집속된 상태로 상기 검사구역 내부로 공급시키는 입자 공급부;상기 피측정 입자의 이동경로 상에 마련되며, 상기 집속된 피측정 입자의 이동시간을 측정하여 상기 집속된 피측정 입자의 형상을 측정하는 형상 측정부;상기 검사구역 내부의 상기 집속된 피측정 입자 측으로 상기 집속된 피측정 입자의 이동경로와 교차되도록 검사광을 조사하는 광원부;상기 검사구역을 통과한 검사광을 이용하여 상기 피측정 입자의 정보를 측정하는 측정부;를 포함하는 입자 측정장치.
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