초록 ▼

본 발명은, 복수 개의 석영 유리 잉곳을 이웃하게 몰드에 배치하는 단계와, 복수 개의 석영 유리 잉곳이 담긴 몰드를 챔버 내에 장입하는 단계와, 상기 챔버 내의 압력을 대기압 미만으로 감압하여 진공 상태로 만드는 단계와, 상기 챔버 내의 온도가 1800∼1900℃ 범위의 온도가 되도록 가열하고 유지하여 복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 하는 단계 및 복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 한 후, 냉각하는 단계를 포함하며, 용융 유리와 접촉하는 부위인 내측벽은 DLC(diamond like carbon) 또는 텅스텐 카바이드(WC

본 발명은, 복수 개의 석영 유리 잉곳을 이웃하게 몰드에 배치하는 단계와, 복수 개의 석영 유리 잉곳이 담긴 몰드를 챔버 내에 장입하는 단계와, 상기 챔버 내의 압력을 대기압 미만으로 감압하여 진공 상태로 만드는 단계와, 상기 챔버 내의 온도가 1800∼1900℃ 범위의 온도가 되도록 가열하고 유지하여 복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 하는 단계 및 복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 한 후, 냉각하는 단계를 포함하며, 용융 유리와 접촉하는 부위인 내측벽은 DLC(diamond like carbon) 또는 텅스텐 카바이드(WC) 재질로 이루어지고 외측벽은 자체 가열원으로 작용하게 하기 위하여 그라파이트 재질로 이루어진 몰드를 사용하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 잉곳의 사이즈-업 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 미리 형성된 석영 유리 잉곳이 광학적(optical) 또는 기계적 물성(mechanical properties)의 변화 없이 대면적을 갖도록 사이즈-업(size-up) 하면서도 복굴절이 작은 석영 유리 잉곳을 제조할 수 있다.

대표청구항 ▼

몰드가 장입되는 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내에 안치되고 자체 가열원으로 작용하는 몰드; 상기 챔버의 둘레를 감싸게 구비되고 상기 몰드를 고주파 유도가열 방식으로 가열하기 위한 가열수단; 상기 챔버에 비활성 가스를 공급하는 가스공급부;상기 챔버 내의 압력을 대기압 미만으로 감압하여 진공 상태로 만들기 위한 배기 장치; 및 상기 챔버 내의 가스를 배출하기 위한 가스배출구를 포함하는 장치를 이용하여 석영 유리 잉곳을 사이즈-업 하기 위한 방법으로서, 복수 개의 석영 유리 잉곳을 이웃하게 상기 몰드에 배치하는 단계;복수 개의 석영

몰드가 장입되는 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내에 안치되고 자체 가열원으로 작용하는 몰드; 상기 챔버의 둘레를 감싸게 구비되고 상기 몰드를 고주파 유도가열 방식으로 가열하기 위한 가열수단; 상기 챔버에 비활성 가스를 공급하는 가스공급부;상기 챔버 내의 압력을 대기압 미만으로 감압하여 진공 상태로 만들기 위한 배기 장치; 및 상기 챔버 내의 가스를 배출하기 위한 가스배출구를 포함하는 장치를 이용하여 석영 유리 잉곳을 사이즈-업 하기 위한 방법으로서, 복수 개의 석영 유리 잉곳을 이웃하게 상기 몰드에 배치하는 단계;복수 개의 석영 유리 잉곳이 담긴 몰드를 상기 챔버 내에 장입하는 단계;상기 챔버 내의 압력을 대기압 미만으로 감압하여 진공 상태로 만드는 단계;상기 챔버 내의 온도가 1800∼1900℃ 범위의 온도가 되도록 가열하고 유지하여 복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 하는 단계; 및복수 개의 석영 유리 잉곳이 용융되게 한 후, 냉각하는 단계를 포함하며, 용융 유리와 접촉하는 부위인 내측벽은 DLC(diamond like carbon) 또는 텅스텐 카바이드(WC) 재질로 이루어지고, 외측벽은 자체 가열원으로 작용하게 하기 위하여 그라파이트 재질로 이루어진 몰드를 사용하고,복수 개의 석영 유리 잉곳이 담긴 몰드는 덮개로 덮여져서 밀봉되며, 용융 유리와 접하는 부위인 내측부가 DLC(diamond like carbon) 또는 텅스텐 카바이드(WC) 재질로 이루어지고, 외측부는 자체 가열원으로 작용하게 하기 위하여 그라파이트 재질로 이루어진 덮개를 사용하며,복수 개의 석영 유리 잉곳은 OH기 농도가 10∼2,000ppm 범위인 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 잉곳의 사이즈-업 방법.