초록 ▼

본 발명의 SAW 필터의 IDT 전극과 연결되는 배선은 기판과 기판의 상부에 형성되며 SAW 필터의 공진 주파수를 결정하기 위해 배치되는 IDT 전극과 기판의 상부에 형성되며 SAW 필터와 외부를 전기적으로 연결시켜주는 패드와 기판의 상부에 형성되며 IDT 전극과 패드를 전기적으로 연결하는 배선을 포함하되, 배선은, 패드와 IDT 전극을 전기적으로 연결되며 기판의 상부에 형성되는 연결 배선과 IDT 전극과 전기적으로 연결되며 기판의 상부에 형성되는 그라운드 배선을 포함한다.이러한 본 발명의 SAW 필터의 IDT 전극과 연결되는 배선

본 발명의 SAW 필터의 IDT 전극과 연결되는 배선은 기판과 기판의 상부에 형성되며 SAW 필터의 공진 주파수를 결정하기 위해 배치되는 IDT 전극과 기판의 상부에 형성되며 SAW 필터와 외부를 전기적으로 연결시켜주는 패드와 기판의 상부에 형성되며 IDT 전극과 패드를 전기적으로 연결하는 배선을 포함하되, 배선은, 패드와 IDT 전극을 전기적으로 연결되며 기판의 상부에 형성되는 연결 배선과 IDT 전극과 전기적으로 연결되며 기판의 상부에 형성되는 그라운드 배선을 포함한다.이러한 본 발명의 SAW 필터의 IDT 전극과 연결되는 배선은 IDT 전극막 표면에 발생하는 자연 산화막을 최소화시키는 효과를 가지며, 자연 산화막의 발생을 최소화시킴으로써 IDT 전극과 배선간의 계면 신뢰성을 높여, SAW 필터의 특성을 향상시키는 효과가 있다. 또한, 측정 공정에서의 측정 정확성 및 재현성을 개선되는 효과도 가진다.

대표청구항 ▼

기판;상기 기판의 상부에 형성되는 IDT 전극;상기 기판의 상부에 형성되며 SAW 필터와 외부를 전기적으로 연결시켜주는 패드;상기 기판의 상부에 형성되며 상기 IDT 전극을 전기적으로 연결하는 배선;을 포함하되,상기 배선은,패드와 IDT 전극을 전기적으로 연결되며 상기 기판의 상부에 형성되는 연결 배선;상기 IDT 전극과 전기적으로 연결되며 상기 기판의 상부에 형성되는 그라운드 배선;을 포함하고,상기 연결 배선은상기 기판의 상부에 형성되는 제1 배선층;상기 제1 배선층의 상부에 형성되는 제2 배선층;을 포함하고,상기 제1 배선층은

기판;상기 기판의 상부에 형성되는 IDT 전극;상기 기판의 상부에 형성되며 SAW 필터와 외부를 전기적으로 연결시켜주는 패드;상기 기판의 상부에 형성되며 상기 IDT 전극을 전기적으로 연결하는 배선;을 포함하되,상기 배선은,패드와 IDT 전극을 전기적으로 연결되며 상기 기판의 상부에 형성되는 연결 배선;상기 IDT 전극과 전기적으로 연결되며 상기 기판의 상부에 형성되는 그라운드 배선;을 포함하고,상기 연결 배선은상기 기판의 상부에 형성되는 제1 배선층;상기 제1 배선층의 상부에 형성되는 제2 배선층;을 포함하고,상기 제1 배선층은 Ti로 형성되는 것을 특징으로 하는 SAW 필터.