[특허]자기부상 반송장치

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[한국특허] 자기부상 반송장치
MAGNETIC LEVITATION TRANSFER APPARATUS 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	B65G-054/02 B60L-013/04
출원번호	10-2014-0170734 (2014-12-02)
공개번호	10-2016-0066397 (2016-06-10)
등록번호	10-2251764-0000 (2021-05-07)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020140170734
발명자 / 주소	최형기 / 서울특별시 서초구 서초대로길 , *동 **호 (방배동, 브라운스톤 방배)
출원인 / 주소	엘지디스플레이 주식회사 / 서울특별시 영등포구 여의대로 ***(여의도동)
대리인 / 주소	네이트특허법인
심사청구여부	있음 (2019-11-21)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 자기부상 반송장치를 개시한다. 보다 상세하게는, 본 발명은 액정표시장치와 같은 평판표시장치의 제조공정에서 이용되는 챔버내에 설치되어 기판을 이송하는 자기부상 반송장치에 관한 것이다.본 발명의 실시예에 따르면, 캐리어를 부상 및 지지하는 전자석을 챔버외부에 설치하고, 챔버벽을 관통하여 전자석과 접촉하는 제2 코어부를 캐리어에 인접시켜 전자석과 동일한 전자기력을 확보함에 따라, 전자석 및 이와 관련된 부품을 챔버외부로 배치시킴으로써, Out-gassing에 의한 문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

공정챔버내 설치되고 양측단에는 상부방향으로 돌출된 가이드바가 구비된 지지대;상기 지지대상에 배치되며, 양측단에는 상기 가이드바와 맞물리는 절곡부가 구비되어 이송경로 따라 적재된 피반송체를 반송하는 캐리어;상기 공정챔버의 상부 벽의 상기 절곡부 상면에 대향하도록 공정챔버의 상부벽에 배치된 제1 전자석 모듈;상기 공정챔버의 측벽의 상기 절곡부 측면에 대향하도록 상기 공정챔버의 측벽에 배치된 제2전자석 모듈을 포함하고,상기 제1전자석 모듈 및 제2전자석 모듈은 각각,상기 공정챔버의 외부에 배치되고, 인가되는 전류에 따른 전자기를 생성하는

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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