[특허]고밀도 CuGa 타겟의 제조 방법

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[한국특허] 고밀도 CuGa 타겟의 제조 방법
MANUFACTURING METHOD OF HIGH DENSITY CuGa TARGET 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C23C-014/34 C23C-024/04
출원번호	10-2014-0178432 (2014-12-11)
공개번호	10-2016-0071535 (2016-06-22)
등록번호	10-1664824-0000 (2016-10-05)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020140178432
발명자 / 주소	김형준 / 경상북도 포항시 남구 효자동 동 ***호
출원인 / 주소	재단법인 포항산업과학연구원 / 경북 포항시 남구 청암로 ** (효자동)
대리인 / 주소	특허법인씨엔에스
심사청구여부	있음 (2014-12-11)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 Ga: 15~25 중량%, 잔부 Cu 및 기타 불가피한 불순물을 포함하는 CuGa 분말을 200~320℃의 온도에서 1~24시간 동안 열처리 하는 단계; 및 상기 CuGa 분말을 기판에 저온분사하여 CuGa 타겟을 형성하는 단계를 포함하는 고밀도 CuGa 타겟의 제조 방법을 제공한다.

대표청구항

Ga: 15~25 중량%, 잔부 Cu 및 기타 불가피한 불순물을 포함하는 CuGa 분말을 200~320℃의 온도에서 1~24시간 동안 열처리 하는 단계; 및상기 CuGa 분말을 기판에 저온분사하여 CuGa 타겟을 형성하는 단계를 포함하는 고밀도 CuGa 타겟의 제조 방법.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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