초록

반도체층(5)에 의해 부분적으로 덮인 두 개의 전극(3, 4)을 갖는 하부 기판(2) 및 상부에 증착되고, 압전 물질로 형성되며, 반도체 물질이 압전 물질 및 두 개의 전극(3, 4)과 접촉하는 방식으로, 반도체층(5)과 접촉하는 압전층(9)을 포함하는 압력 센서(1)가 개시된다.전극(3, 4)은 전압원, 또는 전극(3, 4) 사이의 반도체층(5) 내에서 전하의 변위에 의해 생성된 전류의 세기를 측정하기 위한 장치와 연결되도록 구성되며, 상기 전하는 압전층(9)에 압력이 가해질 때 생성된다.

대표청구항 ▼

압전 물질을 포함하는 압력 센서(1)에 있어서, 상기 압력 센서(1)는,상부에 증착된, 반도체 물질로 형성되는 반도체 층(5)에 의해 부분적으로 덮인 두 개의 전극(3, 4)을 갖는 적어도 하나의 하부 기판(2), 및 압전 물질로 형성되고, 반도체 물질이 압전 물질 및 두 개의 전극(3, 4)과 접촉하는 방식으로, 반도체층(5)과 접촉하는 압전층(9)을 포함하고, 상기 압전층은 전극과 체계적으로 접촉하고, 상기 전극(3, 4)은 전압원, 또는 전극(3, 4) 사이의 반도체층(5) 내에서 전하(10)의 변위에 의해 생성된 전류의 세기

압전 물질을 포함하는 압력 센서(1)에 있어서, 상기 압력 센서(1)는,상부에 증착된, 반도체 물질로 형성되는 반도체 층(5)에 의해 부분적으로 덮인 두 개의 전극(3, 4)을 갖는 적어도 하나의 하부 기판(2), 및 압전 물질로 형성되고, 반도체 물질이 압전 물질 및 두 개의 전극(3, 4)과 접촉하는 방식으로, 반도체층(5)과 접촉하는 압전층(9)을 포함하고, 상기 압전층은 전극과 체계적으로 접촉하고, 상기 전극(3, 4)은 전압원, 또는 전극(3, 4) 사이의 반도체층(5) 내에서 전하(10)의 변위에 의해 생성된 전류의 세기를 측정하기 위한 장치와 연결되도록 구성되며, 상기 전하(10)는 압전층(9)에 압력이 가해질 때 생성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서(1).