초록

[과제] 평판상의 미소입자의 이물이 저감된 규산알칼리 수용액의 제조방법과 평판상의 미소입자의 이물이 저감된 실리카졸의 제조방법을 제공한다. [해결수단] 규산알칼리 수용액의 실리카 농도를 0.5~10.0질량%로 조정하고, 이것을 1차 입자경 1.0㎛인 입자의 제거율이 50% 이상인 필터로 여과하는 것을 특징으로 하는, 이하의 조건을 만족하는 규산알칼리 수용액의 제조방법: (1) 측정방법 A에 따라 계측된 한 변의 길이가 0.2~4.0㎛, 두께가 1~100㎚인 평판상의 미소입자의 존재량이 0~30%.

대표청구항 ▼

규산알칼리 수용액의 실리카 농도를 0.5~10.0질량%로 조정하고, 이것을 1차 입자경 1.0㎛인 입자의 제거율이 50% 이상인 필터로서 여과면적 1m2당 13~400리터/분의 여과속도를 갖는 필터로 여과하는 것을 특징으로 하는, 이하의 조건 (1)을 만족하는 정제된 규산알칼리 수용액의 제조방법:(1) 하기 측정방법 A에 따라 계측된, 한 변의 길이가 0.2~4.0㎛, 두께가 1~100㎚인 평판상의 미소입자의 존재량이 0~30%.측정방법 A는, 실리카 농도를 4질량%로 조정한 25℃의 규산알칼리 수용액 30㎖를 절대구경 0.4㎛의

규산알칼리 수용액의 실리카 농도를 0.5~10.0질량%로 조정하고, 이것을 1차 입자경 1.0㎛인 입자의 제거율이 50% 이상인 필터로서 여과면적 1m2당 13~400리터/분의 여과속도를 갖는 필터로 여과하는 것을 특징으로 하는, 이하의 조건 (1)을 만족하는 정제된 규산알칼리 수용액의 제조방법:(1) 하기 측정방법 A에 따라 계측된, 한 변의 길이가 0.2~4.0㎛, 두께가 1~100㎚인 평판상의 미소입자의 존재량이 0~30%.측정방법 A는, 실리카 농도를 4질량%로 조정한 25℃의 규산알칼리 수용액 30㎖를 절대구경 0.4㎛의 멤브레인형 필터(여과면적 4.90㎠)로 여과한 후, 상기 멤브레인형 필터를 주사형 전자현미경으로 5000배 확대하여 관찰했을 때, 세로 15㎛, 가로 20㎛의 직사각형 관찰영역을 1시야로 하여, 이 1시야에 상기 평판상의 미소입자가 1개 이상 존재했을 때를 1카운트라고 하고, 서로 겹치지 않는 100시야 전부에 대하여 카운트의 유무를 결정하고, 얻어진 카운트 총 수를 상기 평판상의 미소입자의 존재량(%)으로 하는 방법이다.