초록

본 발명은 제1 투습 방지막; 및 상기 제1 투습 방지막 상에 구비된 제2 투습 방지막을 포함하여 이루어지고, 상기 제1 투습 방지막과 상기 제2 투습 방지막의 조성은 서로 상이하고, 상기 제2 투습 방지막은 조성비가 서로 상이한 제1 적층 영역과 제2 적층 영역이 교대로 적층되어 이루어진 투습 방지막과 그 제조방법 및 그를 이용한 유기 발광 소자와 그 제조방법을 제공한다.

대표청구항

제1 투습 방지막; 및상기 제1 투습 방지막 상에 구비된 제2 투습 방지막을 포함하여 이루어지고, 상기 제1 투습 방지막과 상기 제2 투습 방지막의 조성은 서로 상이하고, 상기 제2 투습 방지막은 조성비가 서로 상이한 제1 적층 영역과 제2 적층 영역이 교대로 적층되어 이루어지고, 상기 제1 투습 방지막의 하면은 상기 제1 투습 방지막의 상면보다 실리콘 함유량이 많은 투습 방지막.

제1 투습 방지막; 및상기 제1 투습 방지막 상에 구비된 제2 투습 방지막을 포함하여 이루어지고, 상기 제1 투습 방지막과 상기 제2 투습 방지막의 조성은 서로 상이하고, 상기 제2 투습 방지막은 조성비가 서로 상이한 제1 적층 영역과 제2 적층 영역이 교대로 적층되어 이루어지고, 상기 제1 투습 방지막의 하면은 상기 제1 투습 방지막의 상면보다 실리콘 함유량이 많은 투습 방지막.