[특허]나노선을 구비한 나노선 전계효과 센서 및 그 제조방법

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나노선을 구비한 나노선 전계효과 센서 및 그 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-027/14 H01L-027/12 H01L-029/06 H01L-029/08
출원번호	10-2015-0027608 (2015-02-26)
공개번호	10-2016-0104485 (2016-09-05)
등록번호	10-1659416-0000 (2016-09-19)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020150027608
발명자 / 주소	이정수 / 경상북도 포항시 남구 대잠동길번길 , C- (대잠동) 박찬오 / 경상북도 포항시 남구 청암로 기숙사 -* 김동훈 / 부산광역시 사상구 대동로 , *동 호 (학장동, 학장무학아파트) 김기현 / 울산광역시 동구 명덕로 , 동*호 (서부동, 현대패밀리명덕아파트)
출원인 / 주소	포항공과대학교 산학협력단 / 경상북도 포항시 남구 청암로 ** (지곡동)
대리인 / 주소	이철희
심사청구여부	있음 (2015-02-26)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은, 나노선 전계효과 센서를 제조하는 기술에 관한 것으로, 벌크 실리콘 기판을 사용하여 나노선 전계효과 센서의 제조 비용을 절감함과 아울러 집적도를 향상시킬 수 있도록 한 것이다. 또한, 그물망 구조를 가지며 그물망의 각 측벽에 핀이 수직방향으로 배열되고 핀이 게이트절연막으로 도포된 구조로 형성된 나노 그물망을 구비함으로써, 감지 면적이 넓어져 그만큼 감도가 향상되고, 구조적으로 안정성을 확보할 수 있도록 한 것이다.

대표청구항

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저작권 관리 안내

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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