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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0027608 (2015-02-26) | |
공개번호 | 10-2016-0104485 (2016-09-05) | |
등록번호 | 10-1659416-0000 (2016-09-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150027608 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-02-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 나노선 전계효과 센서를 제조하는 기술에 관한 것으로, 벌크 실리콘 기판을 사용하여 나노선 전계효과 센서의 제조 비용을 절감함과 아울러 집적도를 향상시킬 수 있도록 한 것이다. 또한, 그물망 구조를 가지며 그물망의 각 측벽에 핀이 수직방향으로 배열되고 핀이 게이트절연막으로 도포된 구조로 형성된 나노 그물망을 구비함으로써, 감지 면적이 넓어져 그만큼 감도가 향상되고, 구조적으로 안정성을 확보할 수 있도록 한 것이다.
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