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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0028508 (2015-02-27) | |
등록번호 | 10-1652469-0000 (2016-08-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150028508 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-02-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 실시예에 의하면, 다중 가스 제공 방법은, 하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고, 상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되, 상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며, 상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량
하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고,상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되,상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며,상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조
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