초록 ▼

본 발명의 일 실시예에 의하면, 다중 가스 제공 방법은, 하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고, 상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되, 상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며, 상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량

본 발명의 일 실시예에 의하면, 다중 가스 제공 방법은, 하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고, 상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되, 상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며, 상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조절하고, 상기 제어밸브의 개도조절단위는 상기 측정된 유량과 상기 부분요구량의 차이에 따라 증감한다.

대표청구항 ▼

하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고,상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되,상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며,상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조

하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고,상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되,상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며,상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조절하고, 상기 제어밸브의 개도조절단위는 상기 측정된 유량과 상기 부분요구량의 차이에 따라 증감하며, 상기 제1 제어방식은,상기 제어밸브가 완전개방상태인 경우 상기 제어밸브의 개도조절단위는 제1 조절단위이며,상기 제어밸브가 완전폐쇄상태인 경우 상기 제어밸브의 개도조절단위는 제2 조절단위이되,상기 제1 및 제2 조절단위는 상기 제어밸브가 완전개방상태와 완전폐쇄상태의 사이에서 상기 제어밸브의 개도조절단위보다 크고,상기 제1 조절단위는 상기 제2 조절단위 보다 큰, 다중 가스 제공 방법.