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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0029603 (2015-03-03) | |
공개번호 | 10-2016-0106908 (2016-09-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150029603 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-03-03) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
먼지 센서의 출력기준값을 조절하는 방법이 개시된다. 본 발명의 먼지 센서의 출력 방법은 마스터 센서로 먼지가 투입된 챔버 내의 먼지 농도를 측정하여 마스터값을 측정하는 단계; 측정 센서에 저장된 출력기준값으로 출력되는 센서값을 측정하는 단계; 상기 측정 센서에서 측정된 센서값과 마스터값의 평균값을 산출하는 단계; 상기 평균값과 마스터값을 이용하여 보정값을산출하는 단계; 상기 보정값의 기 설정된 기준값을 비교하는 단계; 및 상기 보정값의 절대값이 상기 기준값 보다 크면 상기 출력기준값을 갱신하는 단계를 포함할 수 있다.
마스터 센서로 먼지가 투입된 챔버 내의 먼지 농도를 측정하여 마스터값을 측정하는 단계; 측정 센서에 저장된 출력기준값으로 출력되는 센서값을 측정하는 단계;상기 측정 센서에서 측정된 센서값과 마스터값의 평균값을 산출하는 단계;상기 평균값과 마스터값을 이용하여 보정값을산출하는 단계;상기 보정값의 기 설정된 기준값을 비교하는 단계; 및 상기 보정값의 절대값이 상기 기준값 보다 크면 상기 출력기준값을 갱신하는 단계를 포함하는 먼지 센서의 출력 보정 방법.
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