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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0038770 (2015-03-20) | |
| 등록번호 | 10-1557611-0000 (2015-09-25) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150038770 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2015-03-20) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
수소 검출 센서가 개시된다. 수소 검출 센서는 기판 상에 서로 이격되게 형성된 제1 전극과 제2 전극, 제1 및 제2 전극과 접촉하고 산화텅스텐 입자 및 상기 산화텅스텐 입자 표면에 부착된 팔라듐 나노입자를 포함하는 복합체로 형성된 감지층 및 감지층의 전기 전도도 변화를 측정하는 분석회로를 구비한다. 이러한 수소 검출 센서는 전기적 방식, 색변화 방식 및 광학적 방식으로 수소를 검출할 수 있다.
기판;상기 기판 상에 형성된 제1 전극;상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1 전극과 이격된 제2 전극;상기 제1 전극의 적어도 일부 및 상기 제2 전극의 적어도 일부와 접촉하도록 상기 기판 상에 형성되고, 산화텅스텐 입자 및 상기 산화텅스텐 입자 표면에 부착된 팔라듐 나노입자를 포함하는 복합체로 이루어진 감지층; 및상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 감지층의 전기 전도도 변화를 측정하는 분석회로를 포함하는 수소 검출 센서.
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