초록 ▼

본 발명은 릴에 부착된 다수의 반도체 칩을 카운팅하는 장치에 관한 것으로, 하우징; 상기 하우징 내부에 배치되어 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 튜브; 상기 하우징 내부에 배치되어 상기 엑스-레이 튜브에 대응하는 위치에 배치되는 디텍터; 및 상기 엑스-레이가 조사될 수 있도록 상기 엑스-레이 튜브와 디텍터 사이에 배치되며, 다수의 반도체 칩에 부착된 릴이 권취된 상태로 안착되는 릴 안착부;를 포함하며, 상기 디텍터는 1회 촬영에 의해 릴의 엑스-레이 영상을 획득하도록 상기 릴의 크기보다 더 큰 면적을 가지며, 상기 릴 안착부는 피검

본 발명은 릴에 부착된 다수의 반도체 칩을 카운팅하는 장치에 관한 것으로, 하우징; 상기 하우징 내부에 배치되어 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 튜브; 상기 하우징 내부에 배치되어 상기 엑스-레이 튜브에 대응하는 위치에 배치되는 디텍터; 및 상기 엑스-레이가 조사될 수 있도록 상기 엑스-레이 튜브와 디텍터 사이에 배치되며, 다수의 반도체 칩에 부착된 릴이 권취된 상태로 안착되는 릴 안착부;를 포함하며, 상기 디텍터는 1회 촬영에 의해 릴의 엑스-레이 영상을 획득하도록 상기 릴의 크기보다 더 큰 면적을 가지며, 상기 릴 안착부는 피검사체인 릴의 지름에 따라 릴의 검사위치를 선택적으로 설정하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

다수의 반도체 칩에 부착된 릴이 인입 또는 인출되는 개구를 개폐하는 도어를 가지는 하우징;상기 하우징 내부에 배치되어 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 튜브;상기 하우징 내부에 배치되어 상기 엑스-레이 튜브에 대응하는 위치에 배치되는 디텍터; 및상기 엑스-레이가 조사될 수 있도록 상기 엑스-레이 튜브와 디텍터 사이에 배치되며, 상기 릴이 권취된 상태로 안착되는 검사대를 가지는 릴 안착부;를 포함하며,상기 디텍터는 릴의 전체 면적을 1회 촬영하여 릴의 엑스-레이 영상을 획득하도록 상기 릴의 크기보다 더 큰 면적을 가지며,상기 릴 안착부

다수의 반도체 칩에 부착된 릴이 인입 또는 인출되는 개구를 개폐하는 도어를 가지는 하우징;상기 하우징 내부에 배치되어 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 튜브;상기 하우징 내부에 배치되어 상기 엑스-레이 튜브에 대응하는 위치에 배치되는 디텍터; 및상기 엑스-레이가 조사될 수 있도록 상기 엑스-레이 튜브와 디텍터 사이에 배치되며, 상기 릴이 권취된 상태로 안착되는 검사대를 가지는 릴 안착부;를 포함하며,상기 디텍터는 릴의 전체 면적을 1회 촬영하여 릴의 엑스-레이 영상을 획득하도록 상기 릴의 크기보다 더 큰 면적을 가지며,상기 릴 안착부는, 상기 검사대를 상기 하우징의 내부로 인입 또는 상기 하우징 외부로 인출하는 인출입 가동부;를 포함하고, 피검사체인 릴의 지름에 따라 릴의 검사위치를 선택적으로 설정하며,상기 인출입 가동부는, 상기 하우징 내부에 고정되는 한 쌍의 고정프레임; 및 상기 검사대가 분리 가능하게 안착되며, 상기 한 쌍의 고정프레임을 따라 상기 개구를 통해 상기 하우징의 내부 및 외부로 이동하는 한 쌍의 가동프레임;을 포함하며,상기 도어는 내측면에 상기 한 쌍의 가동프레임이 상기 하우징 인입 및 인출 시 상기 한 쌍의 가동프레임의 저부에 슬라이딩 접촉하는 제1 슬라이딩 롤러가 배치되는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.