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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0048405 (2015-04-06) | |
공개번호 | 10-2016-0119564 (2016-10-14) | |
등록번호 | 10-1775136-0000 (2017-08-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150048405 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-04-06) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 스케줄에 따라 양액 농도를 결정하여 공급하는 양액 공급 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 양액 공급 장치에서 양액 공급 스케줄에 따라 양액을 공급하는 방법은, 복수의 기본 스케줄 중에서 어느 한 기본 스케줄을 선택하는 단계; 작업자로부터 설정정보를 수신하는 단계; 상기 수신한 설정정보를 토대로 상기 선택한 기본 스케줄을 조절하여, 양액 공급 스케줄을 생성하는 단계; 및 상기 생성한 양액 공급 스케줄을 토대로 양액 공급 시기와 양액 농도 또는 급액량을 확인하고, 상기 양액 공급 시기에 해당 농도를 가지는 양액
양액 공급 장치에서 양액 공급 스케줄에 따라 양액을 공급하는 방법으로서,복수의 기본 스케줄 중에서 어느 한 기본 스케줄을 선택하는 단계;작업자로부터 설정정보를 수신하는 단계;상기 수신한 설정정보를 토대로 상기 선택한 기본 스케줄을 조절하여, 양액 공급 스케줄을 생성하는 단계; 및상기 생성한 양액 공급 스케줄을 토대로 양액 공급 시기 및 양액 농도 또는 급액량을 확인하고, 상기 양액 공급 시기에 해당 농도 또는 급액량을 가지는 양액을 형성하여 공급하는 단계;를 포함하고,상기 양액 공급 스케줄을 생성하는 단계는,상기 선택된 기본 스케줄
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