초록 ▼

본 발명의 일실시예는 실리콘 기판에 나노 패턴을 구현하기 위한 사출 금형 및 그 제조방법에 대한 것으로서, 금형 코어인 실리콘 웨이퍼에 완충 부재를 덧대어 형폐 과정에서 실리콘 웨이퍼의 파손을 방지하고 대량 생산에 적합한 나노 패턴이 형성된 필름을 사출 성형할 수 있는 사출금형 및 그 사출 성형 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 사출금형에 따르면, 나노 패턴을 갖는 실리콘 기판을 구현할 수 있고, 상기 금형 코어인 실리콘 웨이퍼에 직접 패터닝하여 사출하는 방법을 통해 별도의 금속 스탬프의 제작 과정을 생략하여 사

본 발명의 일실시예는 실리콘 기판에 나노 패턴을 구현하기 위한 사출 금형 및 그 제조방법에 대한 것으로서, 금형 코어인 실리콘 웨이퍼에 완충 부재를 덧대어 형폐 과정에서 실리콘 웨이퍼의 파손을 방지하고 대량 생산에 적합한 나노 패턴이 형성된 필름을 사출 성형할 수 있는 사출금형 및 그 사출 성형 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 사출금형에 따르면, 나노 패턴을 갖는 실리콘 기판을 구현할 수 있고, 상기 금형 코어인 실리콘 웨이퍼에 직접 패터닝하여 사출하는 방법을 통해 별도의 금속 스탬프의 제작 과정을 생략하여 사출 공정 과정의 단순화 및 비용 절감의 효과를 이룰 수 있는 나노 패턴 형성을 위한 사출 금형을 제공한다.

대표청구항

실리콘 기판의 제조를 위한 사출금형에 있어서,판상의 금형 코어;상기 판상의 금형 코어의 일면에 덧대어져 장착되는 제1 완충부재;판상의 금형 캐비티; 및상기 판상의 금형 코어를 취부하는 형판과 대면하며, 상기 판상의 금형 캐비티를 취부하는 형판;을 포함하며, 상기 판상의 금형 코어는 나노 패턴이 형성된 실리콘 웨이퍼, 결정질 석영, 또는 비정질인 유리 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판의 제조를 위한 사출금형.

실리콘 기판의 제조를 위한 사출금형에 있어서,판상의 금형 코어;상기 판상의 금형 코어의 일면에 덧대어져 장착되는 제1 완충부재;판상의 금형 캐비티; 및상기 판상의 금형 코어를 취부하는 형판과 대면하며, 상기 판상의 금형 캐비티를 취부하는 형판;을 포함하며, 상기 판상의 금형 코어는 나노 패턴이 형성된 실리콘 웨이퍼, 결정질 석영, 또는 비정질인 유리 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판의 제조를 위한 사출금형.