[특허]그라파이트 방열시트의 제조방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H05K-007/20 C23C-014/06 C23C-014/34
출원번호	10-2015-0065169 (2015-05-11)
공개번호	10-2016-0133029 (2016-11-22)
등록번호	10-1734170-0000 (2017-05-02)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020150065169
발명자 / 주소	황정태 / 경기도 안양시 동안구 경수대로*번길 *동 호 (호계동,주공차아파트) 서동량 / 경기도 남양주시 와부읍 덕소로 *, 동 **(두산위브아파트)
출원인 / 주소	(주)제너코트 / 경기도 화성시 동탄면 동탄산단길 *
대리인 / 주소	정회환
심사청구여부	있음 (2015-05-11)
심사진행상태	등록결정(재심사후)
법적상태	소멸

초록

본 발명은 그라파이트 방열시트의 제조방법에 관한 것으로，권취된 금속 박판을 로드 챔버의 와인더에 장착하는 단계와, 상기 금속 박판을 전처리 챔버에서 플라즈마 처리하는 단계와, 증착 챔버의 메인 드럼을 통과하는 상기 프라즈마 처리된 금속 박판에 증발 방법이나 스퍼터링 방법으로 그라파이트층을 증착하는 단계와, 상기 그라파이트층을 증착하는 단계에서 이온 건을 조사하는 단계, 및 상기 금속 박판에 그라파이트층이 증착된 그라파이트 방열시트를 언로드 챔버의 리와인더에 감는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

권취된 금속 박판을 진공 상태로 유지하는 로드 챔버 내부의 와인더에 장착하는 단계와; 상기 금속 박판 표면을 전처리 챔버에서 플라즈마 처리하는 단계와; 증착 챔버의 메인 드럼을 통과하는 상기 플라즈마 처리된 금속 박판 표면에 10-2~10-5 torr의 진공 상태에서 그라파이트 타겟을 이용하여 스퍼터링 방법으로 그라파이트층을 증착하는 단계와;상기 그라파이트층을 증착하는 단계에서 그라파이트층의 결정립 개선, 부착력 강화 및 고밀도를 위해 이온 건을 조사하는 단계; 및상기 금속 박판 표면에 그라파이트층이 증착된 그라파이트 방열시트를 진

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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