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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0067071 (2015-05-14) | |
| 등록번호 | 10-1630646-0000 (2016-06-09) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150067071 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2015-05-14) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
면상발열체를 이용한 반도체 진공라인 히팅 장치가 개시되다. 본 발명의 일실시예의 진공펌프에서 형성된 진공압이 특정의 장소로 전달되도록 형성된 진공라인을 소정의 온도로 가열하는 반도체 진공라인의 히팅 장치는, 상기 진공라인을 이루는 진공파이프의 내벽을 관통하고, 소정의 경로를 따라 불활성가스가 순환하도록 형성된 불활성가스라인; 및 상기 불활성가스라인에 설치되어 상기 불활성가스를 소정의 온도로 가열하는 면상발열체를 포함하는 히터를 포함하고, 상기 면상발열체는 발열페이스트 조성물 100 중량부에 대하여 탄소나노튜브 입자 3 내지 6중량부
진공펌프에서 형성된 진공압이 특정의 장소로 전달되도록 형성된 진공라인을 소정의 온도로 가열하는 반도체 진공라인의 히팅 장치에 있어서, 상기 진공라인을 이루는 진공파이프의 내벽을 관통하고, 소정의 경로를 따라 불활성가스가 순환하도록 형성된 불활성가스라인; 및 상기 불활성가스라인에 설치되어 상기 불활성가스를 소정의 온도로 가열하는 면상발열체를 포함하는 히터를 포함하고, 상기 면상발열체는 발열페이스트 조성물 100 중량부에 대하여 탄소나노튜브 입자 3 내지 6중량부, 탄소나노입자 0.5 내지 30중량부, 혼합 바인더 10 내지 30중량부
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