초록 ▼

본 발명은 반도체 제조라인에서 글라스를 열처리하는 스윙 개폐식의 셔터장치로서, 종래보다 더욱더 높은 온도에서 열처리할 수 있도록 이중 셔터에 의한 개폐식으로 구성된 열처리오븐의 셔터장치에 관한 것으로, 구동장치에 의해서 개폐되는 외부셔터 및 내부셔터를 구비하고; 상기 외부셔터의 구동장치는 열처리오븐에 외부셔터 구동장치를 고정시키기 위한 판(1401), 봉을 지지하면서 관통하도록 형성된 통공을 가진 브라켓(1402), 편심회전을 위한 편심회전부재(1403), 회전의 중심이 되는 회전축(1404), 상기 회전축(1404)에 상기 편심회

본 발명은 반도체 제조라인에서 글라스를 열처리하는 스윙 개폐식의 셔터장치로서, 종래보다 더욱더 높은 온도에서 열처리할 수 있도록 이중 셔터에 의한 개폐식으로 구성된 열처리오븐의 셔터장치에 관한 것으로, 구동장치에 의해서 개폐되는 외부셔터 및 내부셔터를 구비하고; 상기 외부셔터의 구동장치는 열처리오븐에 외부셔터 구동장치를 고정시키기 위한 판(1401), 봉을 지지하면서 관통하도록 형성된 통공을 가진 브라켓(1402), 편심회전을 위한 편심회전부재(1403), 회전의 중심이 되는 회전축(1404), 상기 회전축(1404)에 상기 편심회전부재(1403)를 고정시키는 고정부재(1405), 상기 편심회전부재(1403)에 연결하여 편심회전의 중심이 되는 편심축(1406), 공기압을 발생시키는 실린더(1508), 상기 실린더(1508)의 공기압에 의해서 상하운동을 수행하는 실린더로드(1409), 상기 실린더로드(1409)의 종단을 상기 편심축(1406)의 일단에 연결시키는 와셔(1407) 및 고정볼트(1408)로 이루어지며; 상기 외부셔터는 최외측에 위치하여 외부의 압력과 충격으로부터 내부 구성요소를 보호하기 위한 외부커버(151), 상기 외부커버(151)의 내측에 고정되어 내측의 열기가 외부로 유출되지 않도록 홈이나 구멍을 메워주는 실링판넬(152), 상기 실링판넬(152)의 내측에 고정되어 내부로부터 외부로 열전도가 발생하지 않도록 열전도율을 저하시키기 위한 단열박스(153), 상기 단열박스(153)의 내측면에 볼트(참조부호 없음)로 고정되는 복수개의 연결판(154), 외부셔터의 개폐시 회동하는 회전가이드(155), 상기 회전가이드(155)의 종단에 고정되는 고정부재(156), 상기 연결판(154)에 고정되는 복수개의 브라켓(157), 상기 브라켓(157)에 몸체가 고정되고 양단에는 상기 고정부재(156)가 끼워져 고정되는 받침(158)로 이루어지며; 상기 내부셔터는 경사지게 실린더를 고정하기 위해 일측으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성된 실린더고정브라켓(1301), 상기 실린더고정브라켓(1301)에 일면이 고정되어 흔들림을 잡아주기 위한 요동받침금구(1302), 일측이 상기 요동받침금구(1302)에 고정되고 타측이 공기압을 직선운동으로 변환시키는 실린더(1303), 일측이 상기 실린더(1303)에 고정되어 편심회전을 위한 구동부연결대(1304), 일측이 상기 구동부연결대(1304)에 편심회전축을 고정시키는 고정부(1305), 상기 편심회전축의 일측에 끼워진 스냅링(1306) 및 베어링(1307), 상기 스냅링(1306) 및 베어링과 함께 결합되어 밀림을 방지하는 밀림방지판(1308), 상기 밀림방지판(1308)의 홈부분을 메워주는 실링블록(1309), 상기 편심회전축과 동일 몸체로서 상기 편심회전축보다 직경이 더 크게 형성된 구동샤프트(1310)를 포함하며; 상기 내부셔터는 상기 구동샤프트(1310)에 끼워져 미끌림을 방지하는 미끌림방지판(1311), 상하면이 평행인 평행키(1312), 상기 평행키(1312)와 결합되어 미끌림을 방지하는 미끌림방지판(1313), 상기 미끌림방지판(1313)의 일측에 끼워진 샤프트부시(1314), 상기 샤프트부시(1314)의 일측에 끼워진 스냅링(1315), 회전마찰저항을 낮춰주는 베어링(1316)을 포함하는 구성을 가지고 이러한 구성요소들이 내부셔터판넬(1317)에 고정되어 내부셔터를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

구동장치에 의해서 개폐되는 외부셔터 및 내부셔터를 구비하는 열처리오븐의 셔터장치에 있어서,상기 외부셔터의 구동장치는 열처리오븐에 외부셔터 구동장치를 고정시키기 위한 판(1401), 봉을 지지하면서 관통하도록 형성된 통공을 가진 브라켓(1402), 편심회전을 위한 편심회전부재(1403), 회전의 중심이 되는 회전축(1404), 상기 회전축(1404)에 상기 편심회전부재(1403)를 고정시키는 고정부재(1405), 상기 편심회전부재(1403)에 연결하여 편심회전의 중심이 되는 편심축(1406), 공기압을 발생시키는 실린더(1508),

구동장치에 의해서 개폐되는 외부셔터 및 내부셔터를 구비하는 열처리오븐의 셔터장치에 있어서,상기 외부셔터의 구동장치는 열처리오븐에 외부셔터 구동장치를 고정시키기 위한 판(1401), 봉을 지지하면서 관통하도록 형성된 통공을 가진 브라켓(1402), 편심회전을 위한 편심회전부재(1403), 회전의 중심이 되는 회전축(1404), 상기 회전축(1404)에 상기 편심회전부재(1403)를 고정시키는 고정부재(1405), 상기 편심회전부재(1403)에 연결하여 편심회전의 중심이 되는 편심축(1406), 공기압을 발생시키는 실린더(1508), 상기 실린더(1508)의 공기압에 의해서 상하운동을 수행하는 실린더로드(1409), 상기 실린더로드(1409)의 종단을 상기 편심축(1406)의 일단에 연결시키는 와셔(1407) 및 고정볼트(1408)로 이루어지고;상기 외부셔터는 최외측에 위치하여 외부의 압력과 충격으로부터 내부 구성요소를 보호하기 위한 외부커버(151), 상기 외부커버(151)의 내측에 고정되어 내측의 열기가 외부로 유출되지 않도록 홈이나 구멍을 메워주는 실링판넬(152), 상기 실링판넬(152)의 내측에 고정되어 내부로부터 외부로 열전도가 발생하지 않도록 열전도율을 저하시키기 위한 단열박스(153), 상기 단열박스(153)의 내측면에 볼트(참조부호 없음)로 고정되는 복수개의 연결판(154), 외부셔터의 개폐시 회동하는 회전가이드(155), 상기 회전가이드(155)의 종단에 고정되는 고정부재(156), 상기 연결판(154)에 고정되는 복수 개의 브라켓(157), 상기 브라켓(157)에 몸체가 고정되고 양단에는 상기 고정부재(156)가 끼워져 고정되는 받침(158)으로 이루어지는 열처리오븐의 셔터장치.