초록

열전 소자의 제조 방법이 제공된다. 상기 열전 소자의 제조 방법은, 기판을 준비하는 단계 및 상기 기판 상에 아연 산화물을 포함하는 제1 물질막(first material layer), 및 티타늄 산화물을 포함하는 제2 물질막(second material layer)을 형성하는 공정을 복수회 수행하여 적층 구조체(stacked structure)를 제조하는 단계를 포함하되, 상기 열전 소자 내의 티타늄의 농도를 조절하여, 상기 적층 구조체의 파워 팩터(power factor) 값 및 제백 계수 값을 조절하는 것을 포함한다.

대표청구항

기판을 준비하는 단계; 및상기 기판 상에, 아연 산화물을 포함하는 제1 물질막(first material layer), 및 티타늄 산화물을 포함하는 제2 물질막(second material layer)을 교대로 형성하는 공정을 복수회 수행하여, 적층 구조체(stacked structure)를 제조하는 단계를 포함하되, 상기 적층 구조체 내에 포함된 티타늄의 농도를 조절하여, 상기 적층 구조체의 파워 팩터(power factor) 값이 조절되는 것을 포함하는 열전 소자의 제조 방법.

기판을 준비하는 단계; 및상기 기판 상에, 아연 산화물을 포함하는 제1 물질막(first material layer), 및 티타늄 산화물을 포함하는 제2 물질막(second material layer)을 교대로 형성하는 공정을 복수회 수행하여, 적층 구조체(stacked structure)를 제조하는 단계를 포함하되, 상기 적층 구조체 내에 포함된 티타늄의 농도를 조절하여, 상기 적층 구조체의 파워 팩터(power factor) 값이 조절되는 것을 포함하는 열전 소자의 제조 방법.