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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0128330 (2015-09-10) | |
공개번호 | 10-2017-0030871 (2017-03-20) | |
등록번호 | 10-1750010-0000 (2017-06-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150128330 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-09-10) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 기판, 상기 기판 상에 흡착된 탄소나노튜브, 상기 탄소나노튜브가 흡착된 기판 상에 진공 증착된 금 나노입자 및 상기 금 나노입자가 진공 증착된 상기 기판 상에 형성된 전극을 포함하는 가스센서;와 (a) 기판 상에 탄소나노튜브를 흡착시키는 단계 (b) 상기 탄소나노튜브가 흡착된 기판 상에 금(Au) 박막을 진공 증착시키는 단계 및 (c) 상기 금(Au) 박막이 진공 증착된 기판을 열처리하여 상기 탄소나노튜브가 흡착된 기판 상에 금(Au) 나노입자를 형성하는 단계를 포함하는 가스센서의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따
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