초록

본 발명은 습식 공정 시작 전에 특정의 메쉬 필터 및 앱솔루트 필터를 이용하여 최적화된 필터링 공정으로 세리아 함유 폐연마재에 포함된 불순물을 효과적으로 제거하면서, 세척 공정을 포함한 재생 공정을 효율화하며, 재활용 슬러리 사용하여 연마시 발생하는 미세 스크래치 발생을 현저히 감소시키는 세리아 함유 폐연마재의 재생 방법에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

세리아(CeO2) 함유 폐슬러지를 170 메쉬 내지 200 메쉬의 메쉬 필터(mesh filter)를 이용하여 0.01 bar 내지 2 bar의 압력 조건 하에서 상기 폐슬러지 내에 포함된 입경 75 ㎛ 내지 150 ㎛ 이상의 불용성 불순물을 제거하는 단계; 상기 불용성 불순물이 제거된 세리아 함유 폐슬러지를 불소계 화합물을 포함하는 용해제 용액에 용해시키는 단계; 상기 세리아 함유 폐슬러지 용액을 세정하여 실리카(SiO2) 함유 불순물을 제거하는 단계; 상기 세정된 세리아 함유 폐슬러지는 습식 분쇄 장치를 이용하여 슬러리(slur

세리아(CeO2) 함유 폐슬러지를 170 메쉬 내지 200 메쉬의 메쉬 필터(mesh filter)를 이용하여 0.01 bar 내지 2 bar의 압력 조건 하에서 상기 폐슬러지 내에 포함된 입경 75 ㎛ 내지 150 ㎛ 이상의 불용성 불순물을 제거하는 단계; 상기 불용성 불순물이 제거된 세리아 함유 폐슬러지를 불소계 화합물을 포함하는 용해제 용액에 용해시키는 단계; 상기 세리아 함유 폐슬러지 용액을 세정하여 실리카(SiO2) 함유 불순물을 제거하는 단계; 상기 세정된 세리아 함유 폐슬러지는 습식 분쇄 장치를 이용하여 슬러리(slurry) 상태로 재분산하는 단계;상기 재분산하는 단계로부터 얻어진 슬러리를 포어 사이즈 10 ㎛ 이하의 앱솔루트 필터(Absolute filter)를 이용하여 0.01 bar 내지 10 bar의 압력 조건 하에서 세리아 연마재 거대 입자를 제거하는 단계; 및 상기 세리아 연마재 거대 입자가 제거된 재생 슬러리를 400 메쉬 이상의 메쉬 필터(mesh filter)를 이용하여 0.01 bar 내지 2 bar의 압력 조건 하에서 상기 재생 슬러리 내에 포함된 입경 45 ㎛ 이하의 플렉서블(flexible) 불순물을 제거하는 단계;를 포함하는, 세리아 함유 폐연마재의 재생 방법.