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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0145322 (2015-10-19) | |
등록번호 | 10-1667947-0000 (2016-10-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150145322 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-10-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판 서셉터를 제공한다. 본 발명의 기판 서셉터는 단열 플레이트; 및 상기 단열 플레이트과 접하는 저면과, 기판이 안착되는 상면을 갖고, 탄소나노튜브-그래핀 복합체로 이루어지는 면상 발열체를 포함한다.
기판 서셉터에 있어서:단열 플레이트; 및상기 단열 플레이트과 접하는 저면과, 기판이 안착되는 상면을 갖고, 탄소나노튜브-그래핀 복합체로 이루어지는 면상 발열체를 포함하되;상기 면상 발열체는가장자리로부터 중앙으로 갈수록 상기 탄소나노튜브의 밀도가 낮아지는 기판 서셉터.
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