$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

기판 서셉터 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/683
  • H01L-021/324
  • H01L-029/16
  • H01L-051/00
출원번호 10-2015-0145322 (2015-10-19)
등록번호 10-1667947-0000 (2016-10-14)
DOI http://doi.org/10.8080/1020150145322
발명자 / 주소
  • 이성광 / 충청남도 천안시 서북구 *공단*길 ** (차암동)
  • 박용성 / 충청남도 천안시 서북구 *공단*길 ** (차암동)
출원인 / 주소
  • 국제엘렉트릭코리아 주식회사 / 충남 천안시 서북구 *공단*길 **, (차암동)
대리인 / 주소
  • 권혁수; 송윤호
심사청구여부 있음 (2015-10-19)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 기판 서셉터를 제공한다. 본 발명의 기판 서셉터는 단열 플레이트; 및 상기 단열 플레이트과 접하는 저면과, 기판이 안착되는 상면을 갖고, 탄소나노튜브-그래핀 복합체로 이루어지는 면상 발열체를 포함한다.

대표청구항

기판 서셉터에 있어서:단열 플레이트; 및상기 단열 플레이트과 접하는 저면과, 기판이 안착되는 상면을 갖고, 탄소나노튜브-그래핀 복합체로 이루어지는 면상 발열체를 포함하되;상기 면상 발열체는가장자리로부터 중앙으로 갈수록 상기 탄소나노튜브의 밀도가 낮아지는 기판 서셉터.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [일본] MANUFACTURE OF HEATER | MATSUMURA KIMIHARU, SHIRAKAWA HIDEKAZU
    상세보기
  2. [한국] 탄소나노판 복합체 제조방법 | 허승헌
    상세보기
  3. [일본] HOLDING TABLE FOR ADHESIVE SHEET ATTACHMENT/DETACHMENT | ONISHI ATSUHIRO, KIZAKI SEIKI
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로