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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0174149 (2015-12-08) | |
| 공개번호 | 10-2016-0069489 (2016-06-16) | |
| 등록번호 | 10-1892099-0000 (2018-08-21) | |
| 우선권정보 | 대한민국(KR) 1020140174895 (2014-12-08) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150174149 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2015-12-08) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
기판 검사장치는 투영부, 조명부, 이미지 획득부 및 처리부를 포함한다.투영부는 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 검사대상물에 조사한다.조명부는 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 검사대상물에 조사한다.이미지 획득부는 투영부로부터 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 조명부로부터 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득한다.처리부는 획득된 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 이미지 획득부에서 획득된 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득
검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득하는 단계;획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하는 단계; 및획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지를 생성하고 상기 합성 이미지 상에서 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중
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