$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

유리 기판의 세정방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C03C-023/00
  • H01L-021/02
출원번호 10-2015-7032495 (2015-11-12)
공개번호 10-2016-0002911 (2016-01-08)
우선권정보 미국(US) 61/817,532 (2013-04-30)
국제출원번호 PCT/US2014/035771 (2014-04-29)
국제공개번호 WO 2014/179251 (2014-11-06)
번역문제출일자 2015-11-12
DOI http://doi.org/10.8080/1020157032495
발명자 / 주소
  • 에닉스, 다윈 젠 / 미국, 뉴욕 *****, 코닝, 데이비스 로드 ****
  • 나카무라, 요시히로 / 일본, 시주오카 *******, 이와타-시, 시주오카, 니시카이듀카 ****-**
  • 벤카타칼람, 시바 / 미국, 뉴욕 *****, 페인티드 포스트, 우즈 에지 드라이브 ***
  • 왈크잭, 원더 제니나 / 미국, 뉴욕 *****, 빅 플래츠, 카운티 라인 드라이브 ****
  • 왕, 리밍 / 미국, 뉴욕 *****, 페인티드 포스트, 콘혹톤 로드 ****
출원인 / 주소
  • 코닝 인코포레이티드 / 미국 뉴욕 (우편번호 *****) 코닝 원 리버프론트 플라자
대리인 / 주소
  • 청운특허법인
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

박형 유리 기판을 세정하는 방법은 상기 박형 유리 기판이 운반 방향으로 운반됨에 따라 순차적인 화학 세척 단계를 적용하는 단계를 포함한다.나아가, 상기 유리 기판의 표면은 상기 유리 기판의 정전 방전 성질을 향상시키기 위하여 처리될 수 있다.

대표청구항 ▼

유리 기판을 운반 방향을 따라 운반 소자로 운반하는 단계를 포함하며, 상기 운반 시 상기 유리 기판의 적어도 하나의 표면에서 다음을 순서대로 포함하는 표면 처리가 수행되는 유리 기판의 표면에서 오염물을 제거하는 인-라인 방법:a) 상기 유리 기판의 적어도 하나의 표면을 오존화된 물을 포함하는 액체 배출물에 노출시키는 단계; b) 상기 유리 기판의 적어도 하나의 표면을 제1베이스 용액의 액체 배출물에 노출시키는 단계; c) 상기 유리 기판의 적어도 하나의 표면을 제2베이스 용액의 액체 배출물에 노출시키는 단계;d) 상기 유리 기판의

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [미국] Single-operation method of cleaning semiconductors after final polishing | Yalamanchili M. Rao, Myli Kari B.,CAX, Shive Larry W.
    상세보기
  2. [미국] Cleaning process and apparatus for silicate materials | Tan, Samantha, Chen, Ning
    상세보기
  3. [미국] Surface cleaning and texturing process for crystalline solar cells | Wijekoon, Kapila, Mishra, Rohit, Stewart, Michael P., Weidman, Timothy, Ponnekanti, Hari, Holtam, Tristan R.
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로