초록

본 발명은 특정한 대상의 물체로부터 반사되는 레이저를 감지하여 물체의 이동거리를 측정할 수 있는 비접촉식 레이저 변위센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반사되는 레이저의 오차범위를 감소시키고, 반사율과 산란율에 따라 조사되는 레이저의 강약을 조절할 수 있으며, 기학광학의 원리를 이용하여 물체로부터 산란된 레이저 광의 경로 (대상 물체, 렌즈, 검출기)를 일정거리 증가시켜 검출기의 분해능과 정확성을 향상시킬 수 있는 레이저 변위센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.

대표청구항 ▼

특정한 대상물의 위치 이동을 측정하기 위해 측정하고자 하는 측정대상물(I)에 레이저 빔을 조사하도록 레이저가 발진되는 레이저발진부(100);상기 레이저발진부(100)와 상기 측정대상물(I) 사이에 구비되어 상기 레이저발진부(100)로부터 발진되는 레이저가 상기 측정대상물(I)의 설정된 지점에 조사되도록 상기 레이저를 집속시키는 제1 렌즈(200);상기 측정대상물(I)로부터 산란된 레이저 광을 수집하는 제2 렌즈(300);상기 제2 렌즈(300)와 일정간격 이격 배치되며, 상기 제2 렌즈(300)를 통과한 레이저 광의 특정 파장영역대

특정한 대상물의 위치 이동을 측정하기 위해 측정하고자 하는 측정대상물(I)에 레이저 빔을 조사하도록 레이저가 발진되는 레이저발진부(100);상기 레이저발진부(100)와 상기 측정대상물(I) 사이에 구비되어 상기 레이저발진부(100)로부터 발진되는 레이저가 상기 측정대상물(I)의 설정된 지점에 조사되도록 상기 레이저를 집속시키는 제1 렌즈(200);상기 측정대상물(I)로부터 산란된 레이저 광을 수집하는 제2 렌즈(300);상기 제2 렌즈(300)와 일정간격 이격 배치되며, 상기 제2 렌즈(300)를 통과한 레이저 광의 특정 파장영역대에 해당하는 레이저 광을 통과시키는 필터(400);상기 필터(400)를 통과하는 레이저의 진행방향을 제어하도록 입사하는 레이저를 반사시키는 제1 각도조절판(500);상기 제1 각도조절판(500)으로부터 입사된 레이저를 특정 방향으로 반사시키되, 상기 특정방향으로 반사되는 레이저와 상기 제1 각도조절판(500)으로부터 입사되는 레이저가 임의의 각도(θ)를 이루며 반사되는 제1 반사판(600);상기 제1 반사판(600)에서 반사되는 레이저가 조사되며, 조사된 레이저의 위치를 감지하여 상기 측정대상물의 위치변화를 전기적 신호로 데이터화 하는 검출기(700);를 포함하되, 상기 제1 반사판(600)과 상기 검출기(700) 사이에는 상기 제1 반사판(600)으로부터 반사되어 상기 검출기(700)까지 도달하는 레이저의 거리를 증가시켜 상기 검출기(700)에 맺히는 레이저의 면적을 감소시키도록 상기 제1 반사판(600)으로부터 일정간격 이격되며, 상기 제1 반사판(600)으로부터 반사된 레이저를 전달받아 상기 제1 반사판(600)으로 재반사시키는 제2 반사판(800)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 레이저 변위센서.