$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

유연한 메탈 투명전극 및 그 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01B-013/00
  • H01B-001/02
  • H01B-003/08
  • H01B-005/14
  • H01L-021/027
  • H01L-021/3213
출원번호 10-2016-0016559 (2016-02-12)
공개번호 10-2017-0095054 (2017-08-22)
DOI http://doi.org/10.8080/1020160016559
발명자 / 주소
  • 정희태 / 대전광역시 유성구 대학로 *** 한국과학기술원 생명화학공학과
  • 장성우 / 대전광역시 유성구 대학로 *** 한국과학기술원 생명화학공학과
  • 전환진 / 대전광역시 유성구 봉명로 **, ***동 ***호 (봉명동, 도안신도시*단지예미지백조의호수)
출원인 / 주소
  • 한국과학기술원 / 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
대리인 / 주소
  • 이처영; 장제환
심사청구여부 있음 (2016-02-12)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록 ▼

본 발명은 희생층이 형성되어 있는 기판 위에 매크로 프리패턴을 형성하고, 메탈을 증착하거나 메탈을 증착한 다음 매크로 프리패턴을 형성한 후에, 이온식각 공정을 통해 메탈을 매크로 프리패턴의 측면에 재증착시켜 패턴을 형성하고 에칭을 통해 프리패턴의 잔여층을 제거한 다음, 유연기판 물질을 도포 및 경화시키고 희생층을 제거하여 메탈 투명전극을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 이와 같이 제조된 유연 메탈 투명전극은 높은 종횡비, 전도성 및 투과도를 확보하여 고성능의 투명전극의 제작이 가능하고, 또한 높은 해상도의 선폭으로 인해, 높은 메쉬

대표청구항

다음 단계를 포함하는 메탈 투명전극의 제조방법:(a) 희생층이 도포된 기판에 매크로 프리패턴을 형성한 다음, 메탈을 증착하는 단계;(b) 에칭을 통해 메탈을 매크로 프리패턴의 측면에 재증착하여 미세패턴을 형성하는 단계;(c) 에칭을 통해 프리패턴의 잔여층을 제거한 다음, 유연기판 물질을 도포 및 경화시키는 단계; 및(d) 희생층을 제거하여 메탈 투명전극을 기판으로부터 분리·수득하는 단계.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 금속 배선이 함몰된 유연 기판의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 유연 기판 | 강재욱, 김도근, 김종국, 정성훈, 송명관, 유대성, 김창수, 남기석, 이승훈, 나종주
    상세보기
  2. [한국] 터치패널용 전극의 제조방법 | 정희태, 전환진, 정현수
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로