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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0022632 (2016-02-25) | |
등록번호 | 10-1730354-0000 (2017-04-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160022632 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-02-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 붕소(Boron)와 인(Phosphorus)이 포함되어 정제를 필요로 하는 불산(HF)을 수용하며 상부가 개구된 불소수지(PTFE) 재질의 하부 몸체; 하부 몸체의 저면에 밀착되어 하부 몸체를 가열하는 그라파이트(Graphite)로 이루어진 히터 몸체; 상기 히터 몸체 내에 배치되어 열을 발생시키는 히터; 저면은 상기 히터 몸체의 상면에 밀착하고, 내주면은 상기 하부 몸체의 둘레에 밀착되도록 일정 높이로 형성되어 상기 히터 몸체에서 전달되는 열원을 이용하여 하부 몸체를 간접 가열하는 간접 열원부; 및 상기 하부 몸체의 상
붕소(Boron)와 인(Phosphorus)이 포함되어 정제를 필요로 하는 불산(HF)을 수용하며 상부가 개구된 불소수지(PTFE) 재질의 하부 몸체;하부 몸체의 저면에 밀착되어 하부 몸체를 가열하는 그라파이트(Graphite)로 이루어진 히터 몸체;상기 히터 몸체 내에 배치되어 열을 발생시키는 히터;저면은 상기 히터 몸체의 상면에 밀착하고, 내주면은 상기 하부 몸체의 둘레에 밀착되도록 일정 높이로 형성되어 상기 히터 몸체에서 전달되는 열원을 이용하여 하부 몸체를 간접 가열하는 간접 열원부; 및상기 하부 몸체의 상부에 결합되고 하부
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