초록 ▼

본 발명은 ELA 장치용 기판 지지모듈에 관한 것으로서, 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지를 상하 방향으로 관통하도록 설치되어, 기판을 스테이지 상에 로딩 또는 언로딩시키는 지지대와, 상기 지지대를 승하강시키는 승하강구동부를 포함하여 구성되는 ELA 장치용 기판 지지모듈에 있어서, 상기 스테이지는 소정 구역으로 분할되어 각 구역은 서로 독립적인 진공흡입영역을 형성하되, 상기 진공흡입영역은 상기 스테이지의 중앙 부분부터 순차적으로 진공 흡입이 이루어지도록 형성되어 상기 기판의 중심부부터 순차적으로 상기 스테이지에 접촉되도록

본 발명은 ELA 장치용 기판 지지모듈에 관한 것으로서, 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지를 상하 방향으로 관통하도록 설치되어, 기판을 스테이지 상에 로딩 또는 언로딩시키는 지지대와, 상기 지지대를 승하강시키는 승하강구동부를 포함하여 구성되는 ELA 장치용 기판 지지모듈에 있어서, 상기 스테이지는 소정 구역으로 분할되어 각 구역은 서로 독립적인 진공흡입영역을 형성하되, 상기 진공흡입영역은 상기 스테이지의 중앙 부분부터 순차적으로 진공 흡입이 이루어지도록 형성되어 상기 기판의 중심부부터 순차적으로 상기 스테이지에 접촉되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 ELA 장치용 기판 지지모듈을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 기판이 안착되는 스테이지를 소정 구역으로 분할하여 독립적인 진공흡입영역을 형성하여 스테이지의 중앙 부분부터 순차적으로 진공 흡입이 이루어지도록 함으로써, 기판의 중심부부터 순차적으로 스테이지에 접촉되도록 하여 기판과 스테이지 사이에서 발생하는 에어 포켓의 생성을 방지하여 기판의 워프(warp) 현상을 최소화하는 이점이 있다.

대표청구항 ▼

기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지를 상하 방향으로 관통하도록 설치되어, 기판을 스테이지 상에 로딩 또는 언로딩시키는 지지대와, 상기 지지대를 승하강시키는 승하강구동부를 포함하여 구성되는 ELA 장치용 기판 지지모듈에 있어서,상기 스테이지는 소정 구역으로 분할되어 각 구역은 서로 독립적인 진공흡입영역을 형성하되, 상기 진공흡입영역은 상기 스테이지의 중앙 부분부터 순차적으로 진공 흡입이 이루어지도록 형성되어 상기 기판의 중심부부터 순차적으로 상기 스테이지에 접촉되도록 형성되되,상기 진공흡입영역은,사각 형상으로 형성되며, 중앙

기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지를 상하 방향으로 관통하도록 설치되어, 기판을 스테이지 상에 로딩 또는 언로딩시키는 지지대와, 상기 지지대를 승하강시키는 승하강구동부를 포함하여 구성되는 ELA 장치용 기판 지지모듈에 있어서,상기 스테이지는 소정 구역으로 분할되어 각 구역은 서로 독립적인 진공흡입영역을 형성하되, 상기 진공흡입영역은 상기 스테이지의 중앙 부분부터 순차적으로 진공 흡입이 이루어지도록 형성되어 상기 기판의 중심부부터 순차적으로 상기 스테이지에 접촉되도록 형성되되,상기 진공흡입영역은,사각 형상으로 형성되며, 중앙 부분에 형성된 제1영역, 상기 제1영역의 대향되는 모서리 바깥쪽으로 각각 형성된 제2영역, 상기 제2영역 바깥쪽으로 각각 형성된 제3영역, 상기 제1영역의 대향되는 다른 모서리 바깥쪽으로 각각 형성된 제4영역, 상기 제2영역 및 제3영역 그리고 제4영역으로 둘러싸인 스테이지의 각 꼭지점 부분에 각각 형성된 제5영역으로 이루어지며, 제1영역에서 제5영역까지 순차적으로 진공 흡입이 이루어지도록 형성되고,각 구역별로 상기 진공흡입영역의 작동을 제어하고, 각 구역별로 압력 체크를 통하여 기판의 워프 현상을 체크한 후 개별 제어를 통해 압력을 보정하는 진공제어부가 형성되며,상기 스테이지는,상부에 소정의 패턴이 격자 형태로 형성되며, 상기 패턴은 각 구역별로 독립적인 진공 흡입이 구현되도록 구획되어 형성되고,상기 패턴은,깊이 0.2mm~0.4mm, 폭 2.5mm~3.5mm, 간격 4.5mm~5.0mm의 오목한 홈으로, 그 길이방향에 대해 수직으로 절단한 단면이 직사각형 형태로 형성되며,상기 지지대는,하부는 경질의 재질로 형성되며, 상부는 탄성력이 있는 재질로 형성된 이중 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 ELA 장치용 기판 지지모듈.